ما هو الاخرق؟
الاخرق هو عملية تستخدم البلازما الغازية لإزاحة الذرات من سطح مادة مستهدفة صلبة. ويتم ترسيب الذرات لتكوين طبقة رقيقة للغاية على سطح الركائز. وهي تقنية تُستخدم غالباً لترسيب أغشية رقيقة من أشباه الموصلات والأقراص المدمجة ومحركات الأقراص والأجهزة البصرية. تُظهر الأفلام المرشوشة تجانساً وكثافة ونقاءً والتصاقاً ممتازاً. من الممكن إنتاج سبائك ذات تركيبة دقيقة باستخدام الاخرق التقليدي، أو الأكاسيد والنتريت والمركبات الأخرى عن طريق الاخرق التفاعلي.
عملية الاخرق:
- تتسارع أيونات الغاز الخامل إلى الهدف
- يتم تآكل الهدف بواسطة الأيونات عن طريق نقل الطاقة ويتم قذفه في شكل جسيمات محايدة
- تجتاز الجسيمات المحايدة من الهدف وتترسب كغشاء رقيق على سطح الركائز
القضبان
الخرز والكرات
البراغي والصواميل
البوتقات
الأقراص
الألياف والأقمشة
الأفلام
فليك
الرغاوي
رقائق معدنية
الحبيبات
أقراص العسل
الحبر
صفائح
الكتل
التشابك
غشاء معدني
اللوحة
المساحيق
قضيب
الصفائح
البلورات المفردة
هدف الاخرق
الأنابيب
الغسالة
الأسلاك
المحولات والآلات الحاسبة
Chin Trento


