AC5592 نِظام الشحن الكهروستاتيكي (Al2O3)

وصف الشوك الكهربائي:

الشوك الكهربائي (ESC) هو مكون حاسم يُستخدم في معدات تصنيع أشباه الموصلات، وخاصة في عمليات الحفر بالبلازما، الترسيب الكيميائي على البخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي على البخار (PVD). ويعمل على تثبيت وإطلاق رقائق أشباه الموصلات أو الركائز بأمان أثناء المعالجة. يعمل الشوك الكهربائي بناءً على القوة الكهروستاتيكية؛ عندما يتم تطبيق جهد، فإنه ينتج مجالًا كهروستاتيكيًا يُثبّت الرقاقة في مكانها دون اتصال مادي، مما يوفر تبريدًا وتسخينًا موحدين، فضلاً عن مسطح ممتاز وملوثات خلفية أقل.

الشوك الكهربائي (ESC) المصنوع من Al2O3، أو أكسيد الألمنيوم، هو جهاز يُستخدم في معدات تصنيع أشباه الموصلات لتثبيت وإطلاق رقائق أشباه الموصلات بأمان أثناء المعالجة. يُفضل أكسيد الألمنيوم لخصائصه الممتازة في العزل الكهربائي، التوصيل الحراري، والثبات الكيميائي. في سياق الشوك الكهربائي، يعمل Al2O3 بشكل أساسي كمواد عازلة تسهل عملية تثبيت رقائق أشباه الموصلات بواسطة الشوك الكهربائي.

مواصفات الشوك الكهربائي:

تطبيقات الشوك الكهربائي

1. تصنيع أشباه الموصلات: تُستخدم ESCs بشكل واسع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، مثل الطباعة الضوئية، الحفر، والترسيب الكيميائي على البخار (CVD). إنها تثبت رقائق السيليكون بأمان أثناء هذه العمليات، مما يضمن المحاذاة الدقيقة والثبات. تُستخدم ESCs أيضًا لتثبيت الرقائق أثناء عملية التخطيط الكيميائي الميكانيكي (CMP)، والتي هي ضرورية لتخطيط سطح الرقاقة.

2. تصنيع شاشات العرض المسطحة (FPD): تُستخدم ESCs للتعامل مع ومعالجة الألواح الزجاجية الكبيرة، الرقيقة، والهشة في إنتاج LCDs، OLEDs، وغيرها من الشاشات المسطحة.

3. أنظمة الميكروالكتروميكانيك (MEMS): في تصنيع MEMS، تُثبّت ESCs المكونات الدقيقة بأمان أثناء عمليات التصنيع والتجميع المختلفة.

4. تصنيع الألواح الشمسية: تُستخدم ESCs للتعامل مع ومعالجة خلايا الطاقة الشمسية الرقيقة ورقائق السيليكون في إنتاج الألواح الشمسية.

5. البصريات الدقيقة: تُستخدم ESCs لتثبيت المكونات البصرية، مثل العدسات والمرايا، أثناء عمليات المعالجة الدقيقة، الطلاء، والتجميع.

6. تصنيع دائرات مطبوعة (PCB): تُستخدم ESCs لتأمين ركائز الدوائر المطبوعة أثناء الحفر، الحفر، وغيرها من عمليات التصنيع، مما يضمن المحاذاة الدقيقة والثبات.

7. الطلاء تحت الفراغ: تُستخدم ESCs في غرف الفراغ لتثبيت الركائز أثناء عمليات ترسيب الأفلام الرقيقة، مثل القذف والتبخر.

8. تحليل السطح والقياس: تُستخدم ESCs لتثبيت العينات بأمان أثناء تقنيات تحليل السطح، مثل المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) والمجهر الذري للقوة (AFM)، مما يوفر موضعًا ثابتًا ودقيقًا.

9. الطباعة الحجرية: في الطباعة الضوئية، تُستخدم ESCs لتثبيت القوالب والرقائق في محاذاة دقيقة لنقل الأنماط بدقة.

10. التصنيع الإضافي: يمكن استخدام ESCs لتثبيت طبقات رقيقة من المواد في مكانها أثناء عمليات الطباعة ثلاثية الأبعاد المختلفة، خاصة في التطبيقات الدقيقة في التصنيع الإضافي.

11. المعالجة في درجات الحرارة العالية: تُستخدم ESCs في التطبيقات التي تتطلب معالجة في درجات حرارة عالية، حيث قد لا يكون التثبيت الميكانيكي التقليدي ممكنًا أو قد يتسبب في تلف المنتج.

تغليف الشوك الكهربائي

يتم التعامل مع الشوك الكهربائي لدينا بعناية خلال التخزين والنقل للحفاظ على جودة منتجنا في حالته الأصلية.