AC5591 تشكيلة كهربائية استاتيكية (Al2O3, SiO2, MgO)

وصف الفك الكهروستاتيكي

الفك الكهروستاتيكي (ESC) هو مكون حاسم يستخدم في معدات صناعة أشباه الموصلات، وخاصة في عمليات الحفر البلازمي، والترسيب الكيميائي بالبخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي بالبخار (PVD). فهو يعمل على تثبيت وإطلاق رقائق أشباه الموصلات أو الركائز بشكل آمن أثناء المعالجة. يعمل الفَك الكهروستاتيكي استنادًا إلى القوة الكهروستاتيكية؛ عند تطبيق جهد، يولد مجالًا كهروستاتيكيًا يُثبّت الرقاقة في مكانها دون تلامس مادي، مما يوفر تبريدًا وتسخينًا موحدين للرقاقة، بالإضافة إلى مستوى ممتاز من الاستواء والحد الأدنى من التلوث من الجهة الخلفية.

تستخدم Al2O3 (أكسيد الألمنيوم)، SiO2 (ثاني أكسيد السيليكون)، وMgO (أكسيد المغنيسيوم) عادة كطبقات عازلة أو مكونات في بناء الفك الكهروستاتيكي نظرًا لخصائصها الممتازة في العزل الكهربائي، والاستقرار الحراري، ومقاومة المواد الكيميائية.

مواصفات الفك الكهروستاتيكي

تطبيقات الفك الكهروستاتيكي

• الحفر البلازمي: تُستخدم الفكوك الكهروستاتيكية بشكل واسع في عمليات الحفر البلازمي لتثبيت رقائق أشباه الموصلات في مكانها.
• الترسيب الكيميائي بالبخار (CVD): في عمليات CVD، تساعد الفكوك الكهروستاتيكية في الحفاظ على الرقاقة في وضع ثابت تحت درجات حرارة عالية وبيئات كيمائية تفاعلية.
• الترسيب الفيزيائي بالبخار (PVD): بالنسبة لعمليات PVD، تضمن الفكوك الكهروستاتيكية أن تُحفظ الرقائق مسطحة ومستقرة، مما يسهل ترسيب طبقات موحدة من المعادن أو المواد العازلة.
• زرع الأيونات: تُستخدم الفكوك الكهروستاتيكية لتثبيت الرقائق أثناء زرع الأيونات، حيث يتم تضمين الأيونات في سطح الرقاقة لتغيير خصائصها الكهربائية. يضمن الفك موضع الدقة واستقرار الرقاقة تحت شعاع الأيونات.
• الفوتوليثوغرافي: رغم أنها أقل شيوعًا من الحفر وعمليات الترسيب، يمكن أيضًا استخدام الفكوك الكهروستاتيكية في الفوتوليثوغرافي لتثبيت الرقائق أثناء التعرض لشرائح الضوء. الاستقرار أمر حاسم لتحقيق الدقة العالية المطلوبة في تشكيل الأنماط.

تغليف الفك الكهروستاتيكي

يتم التعامل مع الفك الكهروستاتيكي لدينا بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة منتجنا في حالته الأصلية.