1700C ثلاثة المناطق أنابيب الألومينا الفرن GSL-1700X-III-F3LV الوصف
1700C ثلاثة المناطق أنابيب الألومينا الفرن GSL-1700X-III-F3LV هو فرن أنابيب ثلاثي المناطق بقطر أنابيب ألومينا 60 مم، ومضخة فراغ ميكانيكية، ونظام تدفق غازات ثلاثي القنوات. يمكنه تسخين العينات إلى درجات حرارة تصل إلى 1700°C وتحقيق مستوى فراغ يصل إلى 5x10^-2 تور. يسمح نظام الفرن بخلط دقيق من 1-3 أنواع من الغازات، وهو ضروري لعمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) أو عمليات الانتشار. بالإضافة إلى ذلك، يتميز النظام بمقياس فراغ بارياني مقاوم للتآكل لقياسات فراغ دقيقة، حتى مع الغازات القاسية.
1700C ثلاثة المناطق أنابيب الألومينا الفرن GSL-1700X-III-F3LV المواصفات
|
هيكل الفرن
|
- غطاء فولاذي مزدوج الطبقة مع تبريد هوائي: يحافظ مروحتان داخليتان على درجة حرارة الغلاف الخارجي أقل من 55°C، مما يعزز الموثوقية.
- عزل ألومينا ألياف ذات نقاوة عالية: يعزز الكفاءة الطاقية بتقليل فقد الحرارة أثناء التشغيل.
- ثلاث مناطق تسخين مستقلة: يتم التحكم فيها بواسطة ثلاثة وحدات تحكم في درجة الحرارة بدقة، مما يسمح بتسخين دقيق وموحد عبر المناطق المختلفة.
|
|
الطاقة
|
10 كيلو واط، AC 208-240 فولت أحادي الطور، 50/60 هرتز
|
|
منطقة التسخين
|
ثلاث مناطق: إجمالي 25" (630 مم) منطقة تسخين (تشمل قسمين عازلَين)
- المنطقة 1: 7.5" (190 مم) تسخين بواسطة 4 قطع من SiC على شكل U
درجة حرارة العمل 800 - 1400°C
معدل التسخين: 10°C/min
- المنطقة 2: 10" (250 مم) تسخين بواسطة 6 قطع من MoSi2 على شكل U
درجة حرارة العمل 800 - 1700°C
الحد الأقصى لمعدل التسخين: 5°C/min
- المنطقة 3: 7.5" (190 مم) تسخين بواسطة 4 قطع من SiC على شكل U
درجة حرارة العمل 800 - 1400°C
الحد الأقصى لمعدل التسخين: 10°C/min
|
|
حجم الأنبوب وفلانش
|
- أنبوب ألومينا بنقاوة 99.8%
- 2-3/8" (60 مم) O.D.x 2-1/8" I.D. (54 مم) x 48" (1200 مم) طول
- فلانش فراغ من الفولاذ المقاوم للصدأ بقطر 60 مم مع صمام وعداد مشمول
- تتضمن دائرتان من الكتل الخزفية المسامية لحماية الفلانش من إشعاع التسخين
|
|
التحكم في درجة الحرارة
|
- ثلاث وحدات تحكم في درجة الحرارة بدقة للتحكم في ثلاث مناطق بشكل منفصل.
- تحكم تلقائي PID عبر SCR (صمام التحكم بالسيليكون) مع خطر الزوايا، ومقاوم محدود للتيار.
- 30 مقطعًا قابلاً للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين ومعدل التبريد ووقت الإقامة.
- حماية مدمجة من الحرارة الزائدة والكسر في الثيرموكابل.
- حماية وإنذار درجة حرارة مرتفعة يسمح بالتشغيل بدون مشرفين.
- دقة درجة حرارة +/- 1 ºC.
- منفذ اتصالات RS485.
|
|
مقياس الفراغ
|
- مقياس بارياني مقاوم للتآكل مع رأس مستشعر مغطى بالسيراميك مصمم خصيصًا لقياسات الفراغ مع وجود غازات تآكلية.
- المقياس مثبت على فلانش الفراغ (الجانب الأيمن) من فرن الأنابيب ويوفر نطاق قياس واسع (10^-5 ~ 1000 تور).
|
|
الأبعاد
|
550 × 380 × 520 مم
|
|
مضخة الفراغ
|
مضخة فراغ دوارة ثقيلة (7.8 CFM -240 L/m) مع نظام عادم ذو مرحلتين مثبتة داخل محطة الفراغ. يمكن أن تصل نظام الفراغ إلى 5x10-2 تور في غضون 30 دقيقة من الضخ.
تم تثبيت محول KFD25 على الفلانش للاتصال بمضخة الفراغ.
|
|
نظام خلط وتوصيل الغازات ثلاثي القنوات
|
- تم تثبيت ثلاثة عدادات تدفق غاز (دقة 4% FS) داخل العربة المتنقلة التي يمكنها مراقبة معدلات تدفق الغازات (ثلاثة أنواع مختلفة من الغازات إجمالاً)
1) عداد تدفق مباشر مدمج، 10-100 سم³/دقيقة.
2) عداد تدفق مباشر مدمج، 16-160 سم³/دقيقة.
3) عداد تدفق مباشر مدمج، 25-250 سم³/دقيقة.
- تم تثبيت مقياس ضغط واحد داخل عربة متنقلة لمراقبة ضغط خزان الخلط.
- تم تركيب 4 صمامات إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ على العربة المتنقلة
- توجد أنابيب تدفق غازتين للاستخدام الفوري (أنبوب واحد من غازين مختلطين وآخر غاز مستقل)
|
|
كابل الطاقة والمقبس
|
- تم تضمين كابل طاقة ثقيل معتمد UL بطول 10 أقدام 8-3 AWG
- المقبس غير مشمول، يمكنك طلبه من متجر الأدوات المحلي وفقًا للمقبس الأنثوي في مختبرك
|
|
الأبعاد
|
الفرن: 863 طول × 457 عرض × 711 ارتفاع مم (34 طول × 18 عرض × 28 ارتفاع بوصة)
عربة الغاز: 850 مم (طول) × 600 مم (عرض) × 700 مم (ارتفاع)
|
|
الوزن الصافي
|
150 كجم (الفرن) + 100 كجم (إجمالي 550 رطل)
|
|
وزن الشحن
|
800 رطل
|
|
أبعاد الشحن
|
حالتان في منصة واحدة: 45×45×35/حالة
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة سنة واحدة (قطع الغيار القابلة للاستهلاك مثل الأنابيب المعالجة، وحلقات O والعناصر التسخين غير مشمولة بالضمان، يرجى طلب البدائل من المنتجات ذات الصلة أدناه).
|
|
الامتثال
|
معتمد CE
شهادات UL / MET / CSA متاحة عند الطلب، ستتم إضافة رسوم إضافية
|
|
تحذيرات
|
- تم تصميم الأفران الأنبوبية مع أنابيب الألومينا للاستخدام تحت الفراغ والضغط المنخفض < / 0.2 بار/ 3 PSI
- لا تستخدم أبداً وعاء من الجرافيت في أنبوب الألومينا.
- تنبيه: يجب تثبيت منظم ضغط ذو مرحلتين على أسطوانة الغاز لتحديد الضغط أدنى 3 PSI للتشغيل الآمن.
- يجب أن يكون معدل تدفق الغازات محدودًا إلى < 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة)
- تعريف حد الفراغ لجميع أفران الألومينا الأنبوبية: * يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1500°C
|
1700C ثلاثة المناطق أنابيب الألومينا الفرن GSL-1700X-III-F3LV التطبيقات
- ترسيب بخار كيميائي (CVD):
يمكن أن يمكن ترسيب الأفلام الرقيقة والتغطيات على الركائز مع أجواء غازية متحكم بها.
يستخدم في تصنيع أشباه الموصلات، وتغطية السطح، وتركيب المواد النانوية.
يسهل الحركة المنضبطة للذرات أو الجزيئات داخل المواد الصلبة.
ضرورية لتطعيم المواد شبه الموصلية وتعزيز خصائص المواد.
- التسخين العالي وعمليات التلبيد:
مثالي لعمليات التلدين لتحسين بلورية المواد وإزالة العيوب.
يدعم تلبيد السيراميك والمعادن للدننة وتعزيز الخصائص الميكانيكية.
يوفر بيئة محكمة لدراسة سلوك وخصائص المواد عند درجات حرارة عالية.
ضروري لاستكشاف مواد جديدة وعمليات في مختبرات البحث.
1700C ثلاثة المناطق أنابيب الألومينا الفرن GSL-1700X-III-F3LV التعبئة
يتم التعامل مع 1700C ثلاثة المناطق أنابيب الألومينا الفرن GSL-1700X-III-F3LV بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة منتجنا في حالته الأصلية.
المواصفات
|
هيكل الفرن
|
- غطاء فولاذي مزدوج مع تبريد هوائي: اثنان من مراوح التبريد الداخلية تحافظ على درجة حرارة العلبة الخارجية أقل من 55 درجة مئوية، مما يعزز الاعتمادية.
- عزل من الألومينا الليفية عالية النقاء: يزيد من كفاءة الطاقة من خلال تقليل فقد الحرارة أثناء التشغيل.
- ثلاث مناطق تسخين مستقلة: يتم التحكم بها بواسطة ثلاثة وحدات تحكم في درجة الحرارة الدقيقة، مما يتيح تسخيناً دقيقاً وموحداً عبر مناطق مختلفة.
|
|
القوة
|
10 كيلووات، AC 208-240V مرحلة واحدة، 50/60 هرتز
|
|
منطقة التسخين
|
ثلاث مناطق: إجمالي 25 بوصة (630 مم) منطقة تسخين (تشمل فاصلين حراريين)
- المنطقة 1: 7.5 بوصة (190 مم) يتم تسخينها بواسطة 4 قطع من سيليكون كاربيد
درجة الحرارة العاملة 800 - 1400 درجة مئوية
معدل التسخين: 10 درجات مئوية/min
- المنطقة 2: 10 بوصة (250 مم) يتم تسخينها بواسطة 6 قطع من موسي 2
درجة الحرارة العاملة 800 - 1700 درجة مئوية
أقصى معدل تسخين: 5 درجات مئوية/min
- المنطقة 3: 7.5 بوصة (190 مم) يتم تسخينها بواسطة 4 قطع من سيليكون كاربيد
درجة الحرارة العاملة 800 - 1400 درجة مئوية
أقصى معدل تسخين: 10 درجات مئوية/min
|
|
حجم الأنبوب والفلاشة
|
- أنبوب ألومينا بنقاء 99.8%
- 2-3/8 بوصة (60 مم) O.D.x 2-1/8"I.D. (54 مم) x 48 بوصة (1200 مم) الطول
- فلاشة من الفولاذ المقاوم للصدأ بحجم 60 مم مع صمام ومقياس مدمج
- يتضمن كتلتين سيراميك مسامية لحماية الفلاشة من إشعاع التسخين
|
|
تحكم في درجة الحرارة
|
- ثلاث وحدات تحكم دقيقة في درجة الحرارة للتحكم في ثلاث مناطق بشكل منفصل.
- تحكم أوتوماتيكي بواسطة PID عبر SCR (ثايرستور التحكم في السيليكون) مع القدرة على التحكم في الزاوية، ومقاوم حد التيار.
- 30 مقطعاً قابلاً للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين، معدل التبريد ومدة البقاء.
- حماية مضمنة من overheating وكسر الثيرموكوپل.
- حماية وإشعار عند تجاوز درجة الحرارة يتيح التشغيل بدون مشغلين.
- دقة درجة حرارة +/- 1 درجة مئوية.
- منفذ اتصالات RS485.
|
|
مقياس الضغط
|
- مقياس ضغط حجاب دقيق مقاوم للتآكل مع رأس حساس مغطى بالسيراميك مصمم بشكل خاص لقياسات التفريغ مع وجود غازات مدمرة.
- المقياس مثبت على الفلاشة المفرغة (الجانب الأيمن) من الفرن الأنبوب ويوفر مدى واسع من القياس (10^-5 ~ 1000 تور).
|
|
الأبعاد
|
550 x 380 x 520 مم
|
|
مضخة تفريغ
|
مضخة تفريغ من نوع الدوّارة ذات الشفرات الثقيلة (7.8 CFM -240 L/m) مع نظام تفريغ من مرحلتين مثبتة داخل محطة التفريغ. يمكن أن يصل نظام التفريغ إلى 5x10-2 تور في غضون 30 دقيقة من الضخ.
تم تثبيت محول KFD25 على الفلاشة للاتصال بمضخة التفريغ.
|
|
نظام خلط وتوصيل الغاز من ثلاث قنوات
|
- ثلاث مقاييس تدفق للغاز (بدقة 4% FS) مثبتة داخل العربة المتنقلة التي يمكنها مراقبة معدل تدفق الغازات (ثلاثة أنواع مختلفة من الغازات مجتمعة)
1) مقياس تدفق مباشر مدمج، 10-100 سم³/دقيقة.
2) مقياس تدفق مباشر مدمج، 16-160 سم³/دقيقة.
3) مقياس تدفق مباشر مدمج، 25-250 سم³/دقيقة.
- مقياس ضغط واحد مثبت داخل العربة المتنقلة لمراقبة ضغط خزان الخلط.
- تم تثبيت 4 صمامات إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ على العربة المتنقلة.
- تم توفير أنبوبين لتدفق الغاز للاستخدام الفوري (أنبوب واحد من غازين مختلطين وآخر هو غاز مستقل)
|
|
كابل القوة والفياشة
|
- يتم تضمين كابل طاقة بحجم 8-3 AWG طوله 10 أقدام معتمد من UL.
- لا يتم تضمين الفيشة، يمكنك الطلب من متجر الأجهزة المحلية حسب الفيشة الأنثوية في مختبرك.
|
|
الأبعاد
|
الفرن: 863 L x 457 W x 711 H مم (34 L x 18 W x 28 H بوصة)
عربة الغاز: 850 مم (L) x 600 مم (W) x 700 مم (H)
|
|
الوزن الصافي
|
150 كجم (الفرن) + 100 كجم (إجمالي 550 رطل)
|
|
وزن الشحن
|
800 رطل
|
|
أبعاد الشحن
|
حالتان في منصة واحدة: 45x45x35/حالة
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة عام واحد من الشركة المصنعة (الأجزاء القابلة للاستهلاك مثل الأنابيب المعالجة، حلقات O والعناصر الحرارية غير مشمولة بالضمان، يُرجى طلب البدائل في المنتجات ذات الصلة أدناه).
|
|
الامتثال
|
معتمد من CE
شهادة UL / MET / CSA متاحة عند الطلب، ستطبق رسوم إضافية
|
|
تحذيرات
|
- تم تصميم أفران الأنابيب مع أنابيب الألومينا للاستخدام تحت التفريغ والضغط المنخفض < / 0.2 بار/ 3 PSI
- لا تستخدم وعاء جرافيتي داخل أنبوب الألومينا.
- انتبه: يجب تثبيت منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز لتقليل الضغط إلى أقل من 3 PSI لتشغيل آمن.
- يجب تقليل معدل تدفق الغازات إلى أقل من 200 SCCM (أو 200 مل/min)
- تعريف حد التفريغ لجميع أفران أنابيب الألومينا: * يمكن استخدام ضغوط التفريغ بأمان حتى 1500 درجة مئوية
|
*المعلومات الواردة أعلاه عن المنتج تعتمد على بيانات نظرية وهي للرجوع إليها فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
