فرن أنبوب 1700 درجة مئوية مع نظام فراغ عالي وم mixer الغاز GSL-1700X-4-HVC-LD الوصف
فرن أنبوب 1700 درجة مئوية مع نظام فراغ عالي وم mixer الغاز GSL-1700X-4-HVC-LD هو فرن أنبوب ألومينا ذو منطقة واحدة بقطر 60 مم، يتميز بنظام مضخة فراغ عالي يمكنه تحقيق ضغط يصل إلى 10^-5 تور. وهو مزود بـ 2 قناة من وحدات تدفق الكتلة الرقمية الدقيقة، مما يتيح التحكم الدقيق في نوعين من الغازات لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) أو عمليات الانتشار. يمكن لهذا الفرن العمل في درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات عالية الحرارة التي تتطلب جوًا مسيطرًا وإدارة غاز دقيقة.
فرن أنبوب 1700 درجة مئوية مع نظام فراغ عالي وم mixer الغاز GSL-1700X-4-HVC-LD المواصفات
سلسلة GSL-1700X
|
هيكل الفرن
|
- هيكل فولاذي مزدوج الطبقات مع تبريد بالهواء: يوفر عزلًا قويًا وسلامة هيكلية، مما يضمن تشغيلًا آمنًا.
- مروحتان تبريديتان مزدوجتان: تحافظ على درجة حرارة العلبة أقل من 55 درجة مئوية، مما يعزز الاعتمادية وطول العمر.
- غرفة رفيعة من الألومينا عالية النقاء: تضمن الاستقرار الحراري ومقاومة درجات الحرارة العالية، وهي مثالية للتطبيقات الم demanding.
- عربة متحركة بأربعة عجلات: تسهل الحركة والموضع داخل مساحة العمل، مما يعزز المرونة.
- نظام الفراغ وخلط الغاز الجاهز للاستخدام: يشمل فم فراغ، مقياس، صمامات، أنابيب، ومضخة فراغ عالية لإعداد التشغيل الفوري، مما يضمن الراحة والكفاءة.
|
|
أنبوب المعالجة
|
المادة: الألومينا عالية النقاء
يشمل الأنبوب الألوميني الذي يعمل بقطر 60 مم (EQ-TA-60D-M1000) مع الفرن.
يمكن أيضًا تخصيص الفرن ليتناسب مع أنبوب الألومينا بقطر 50 مم أو 80 مم بتكلفة إضافية، يرجى الاتصال بنا لمزيد من المعلومات.
|
|
عناصر التسخين
|
8 قطع من عنصر التسخين من نوع MoSi2 بدرجة 1800 درجة مئوية
|
|
الطاقة
|
AC 208-240V مرحلة واحدة، 50/60 هرتز
6KW
|
|
درجة الحرارة التشغيلية
|
- الحد الأقصى. درجة الحرارة: 1650 درجة مئوية (1 ساعة)؛ 1600 درجة مئوية (مستمرة)
- معدل التسخين: ≤5 درجة مئوية / دقيقة
- دقة درجة الحرارة: ±1.0 درجة مئوية
|
|
طول منطقة التسخين
|
طول منطقة التسخين: 457 مم (18 بوصة)
طول منطقة الحرارة الثابتة: 150 مم (6 بوصات) (+/-1 درجة مئوية)
|
|
تحكم في درجة الحرارة
|
- تحكم تلقائي PID عبر حد التيار زاوية المرحلة المسدودة مع 30 خطوة قابلة للبرمجة.
- دقة درجة الحرارة: ±1 درجة مئوية
- مزدوجة النوع B مدمجة داخل الفرن
- منفذ اتصالات RS485.
|
|
ختم الفراغ
|
زوج واحد من فلنجر الفراغ الفولاذ المقاوم للصدأ مع:
- مقياس فراغ ميكانيكي واحد
- صمامين إبرة
- موصل KF-25 ومحول KF-25 إلى KF-40 لمحطة الفراغ العالية.
- موصل أنبوب 1/4" Swagelok
|
|
الأبعاد
|
550 × 380 × 520 مم
|
محطة الفراغ العالي
|
الطاقة
|
100~110 واط
|
|
الجهد المقدر
|
AC 208-240V مرحلة واحدة، 50/60 هرتز
|
|
الأبعاد
|
600 (طول) × 600 (عرض) × 700 (ارتفاع) مم
|
|
الهيكل
|
حجم العربة المتحركة: 600 (طول) × 600 (عرض) × 700 (ارتفاع) مم
الحمولة القصوى: 600 رطل على السطح
لوحة تحكم مضخة الجزيئات: شاشة عرض LCD رقمية
بالداخل: مضخة فراغ
|
|
لوحة التحكم
|
عملية زر واحدة - ستبدأ مضخة الغشاء ومضخة الجزيئات بعد الضغط على زر "بدء".
سرعة دوران النظام المتحكم بها - ستتحكم وحدة التحكم في سرعة دوران التوربين صعودًا وهبوطًا وفقًا لمستوى الفراغ ومعدل تسرب غرفة التفاعل.
الحماية الذاتية - ستحمي الوحدة المضخة من التلف الناتج عن الحرارة الزائدة والتيار الزائد إذا كان معدل التسرب لغرفة التفاعل مرتفعًا للغاية لتحقيق الفراغ العالي.
شاشة LCD - واجهة فحص مزدوجة السطور تجعل العمل أكثر سهولة.
|
|
معدل تدفق الحجم
|
النيتروجين N2 33 لتر / ثانية
الهليوم He 39 لتر / ثانية (2340 لتر / دقيقة)
الهيدروجين H2 32 لتر / ثانية
|
|
نطاق العمل
|
من 1000 مللي بار إلى < 1E-7 مللي بار
|
|
الضغط النهائي
|
<1E-8 مللي بار (بدون أي تسرب)
|
تحكم تدفق الغاز بالكتلة
|
الهيكل
|
مصنوع من صمامات الفولاذ المقاوم للصدأ 316
خزان مزج الغاز: Φ80X120 مم
600 مم (طول) × 745 مم (عرض) × 700 مم (ارتفاع)
شاشة تحكم تعمل باللمس بحجم 6 بوصات لتسهيل إعداد المعلمات.
يمكن التحويل بين التحكم باللمس والتحكم عن بعد عبر الكمبيوتر.
نطاق التحكم في معدل التدفق وعدد مسارات الغاز متاح للتخصيص. يرجى الاتصال بنا لمزيد من المعلومات التفصيلية.
|
|
الطاقة
|
23 واط لكل قناة
|
|
الجهد المقدّر
|
AC 220V/50Hz مرحلة واحدة
|
ملاحظات وضمان
|
ملاحظات تطبيقية
|
يمكن استخدام الضغوط الفراغية بأمان فقط حتى 1500 درجة مئوية لأنابيب الألومينا
تم تصميم الأفران الأنبوبية بأنابيب الألومينا للاستخدام تحت فراغ وضغط منخفض < 0.12 ميجا باسكال (ضغط مطلق)
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة سنة واحدة (لا تشمل الأجزاء الاستهلاكية مثل أنابيب المعالجة والأختام والعناصر الحرارية، يرجى طلب الاستبدالات من المنتجات ذات الصلة أدناه.)
|
|
الامتثال
|
- شهادة CE
- شهادة NRTL (UL61010) أو CSA متاحة بتكلفة إضافية.
|
|
أبعاد الشحن
|
حالتان في منصة بلاستيكية واحدة: 45 × 45 × 35 / حالة
|
|
تحذيرات
|
- تم تصميم الأفران الأنبوبية بأنابيب الألومينا للاستخدام تحت فراغ وضغط منخفض < 0.02 ميجا باسكال / 3 PSI
- تنبيه: يجب تثبيت منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز لتقليل الضغط إلى أقل من 3 PSI لضمان التشغيل الآمن.
- لا تقم بتسخين الفرن بينما تكون صمامات تحرير الغاز مغلقة وتوجد حالة ضغط إيجابي داخل حجرة الفرن. يجب استخدام مقياس الضغط لمراقبة حالة الحجرة عن كثب في جميع الأوقات خلال عملية التسخين؛ يرجى فتح صمام تحرير الغاز على الفور بمجرد وصول ضغط الحجرة إلى أكثر من 3 PSI لتجنب الأضرار غير المتوقعة.
- يجب أن يكون معدل التدفق للغازات محدودًا إلى أقل من 200 SCCM (أو 200 ملي/دقيقة)
- يمكن استخدام الضغوط الفراغية بأمان فقط حتى 1500 درجة مئوية
|
فرن أنبوب 1700 درجة مئوية مع نظام فراغ عالي وم mixer الغاز GSL-1700X-4-HVC-LD التطبيقات
- ترسيب بخار الكيميائية (CVD):
يمكنه ترسيب الأفلام الرقيقة والطلاءات على الركائز في جو من الغاز المسيطر عليه.
يستخدم في تصنيع أشباه الموصلات، والطلاء السطحي، وتوليف المواد النانوية.
يسهل الحركة المحكومة للذرات أو الجزيئات داخل المواد الصلبة.
ضروري للتطعيم جزيئات أشباه الموصلات وتعزيز خصائص المواد.
- التعتيق في درجات الحرارة العالية والحرارة:
مثالي لعمليات التعتيق لتحسين بلورات المواد والقضاء على العيوب.
يدعم حرق السيراميك والمعادن لتحقيق الكثافة والخصائص الميكانيكية المحسنة.
يوفر بيئة مسيطر عليها لدراسة سلوك المواد وخصائصها في درجات الحرارة العالية.
ضروري لاستكشاف مواد جديدة وعمليات في مختبرات البحث.
فرن أنبوب 1700 درجة مئوية مع نظام فراغ عالي وم mixer الغاز GSL-1700X-4-HVC-LD التعبئة
تم التعامل مع فرن أنبوب 1700 درجة مئوية مع نظام فراغ عالي وم mixer الغاز GSL-1700X-4-HVC-LD بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة منتجنا في حالته الأصلية.
المواصفات
GSL-1700X Series Tube Furnace
|
هيكل الفرن
|
- هيكل من الصلب مزدوج الطبقات مع تبريد الهواء: يوفر عزلًا قويًا وسلامة هيكلية، مما يضمن التشغيل الآمن.
- مروحتان تبريديتان مزدوجتان: تحافظان على درجة حرارة الهيكل أقل من 55 درجة مئوية، مما يعزز الاعتمادية وطول العمر.
- غرفة حرارية من الألومينا عالية النقاء: تضمن استقرارًا حراريًا ومقاومة لدرجات الحرارة العالية، مثالية للتطبيقات الشاقة.
- عربة متحركة بأربع عجلات: تسهل الحركة والموضع داخل مكان العمل، مما يعزز المرونة.
- نظام جاهز للاستخدام للفراغ وخلط الغازات: يتضمن فلانجا فراغ، مقياس، صمامات، أنابيب، ومضخة فراغ عالية لضمان الإعداد والتشغيل الفوريين، مما يضمن الراحة والكفاءة.
|
|
أنبوب المعالجة
|
المادة: الألومينا عالية النقاء
يتضمن أنبوب معالج من الألومينا بقطر خارجي 60 مم (EQ-TA-60D-M1000).
يمكن أيضًا تصنيع الفرن ليلائم أنبوب ألومينا بقطر خارجي 50 مم أو 80 مم بتكلفة إضافية، يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المعلومات.
|
|
عناصر التسخين
|
8 قطع من عناصر تسخين MoSi2 بدرجة 1800 درجة مئوية
|
|
الطاقة
|
AC 208-240V مرحلي واحد، 50/60 هرتز
6KW
|
|
درجة الحرارة التشغيلية
|
- الحد الأقصى. درجة الحرارة: 1650 درجة مئوية (1 ساعة)؛ 1600 درجة مئوية (استمرار)
- معدل التسخين: ≤5 درجة مئوية/دقيقة
- دقة درجة الحرارة: ±1.0 درجة مئوية
|
|
طول منطقة التسخين
|
طول منطقة التسخين: 457 مم (18")
طول منطقة درجة الحرارة الثابتة: 150 مم (6") (+/-1 درجة مئوية)
|
|
تحكم درجة الحرارة
|
- تحكم تلقائي PID عبر تحديد الزاوية الواردة للطاقة مع 30 خطوة من الأقسام القابلة للبرمجة.
- دقة درجة الحرارة: ±1 درجة مئوية
- ثيرموقouple: نوع B مدمج داخل الفرن
- منفذ اتصالات RS485.
|
|
ختم الفراغ
|
مجموعة واحدة من فلانجات الفراغ الفولاذية المقاومة للصدأ مع:
- مقياس فراغ ميكانيكي واحد
- صمامين إبرة
- موصل KF-25 ومحولات KF-25 إلى KF-40 لمحطة الفراغ العالية.
- موصل أنبوب Swagelok بقطر 1/4"
|
|
الأبعاد
|
550 × 380 × 520 مم
|
محطة الفراغ العالية
|
الطاقة
|
100~110W
|
|
الجهد المقنن
|
AC 208-240V مرحلي واحد، 50/60 هرتز
|
|
البعد
|
600(ط) × 600(عرض) × 700(ارتفاع)، مم
|
|
الهيكل
|
حجم العربة المتحركة: 600 (ط) × 600 (عرض) × 700 (ارتفاع)، مم
الحمولة القصوى: 600 رطل على السطح
لوحة تحكم المضخة الجزيئية: شاشة LCD رقمية
بالداخل: مضخة فراغ
|
|
لوحة التحكم
|
تشغيل بزر واحد - ستبدأ مضخة الحجاب الحاجز والمضخة التوربينية بعد الضغط على زر "بدء".
سرعة الدوران التي تتحكم بها النظام - ستتحكم الوحدة في سرعة دوران التوربينة صعودًا وهبوطًا وفقًا لمستوى الفراغ ومعدل التسرب في حجرة التفاعل.
الحماية الذاتية - ستحمي الوحدة المضخة من التلف بسبب ارتفاع درجة الحرارة والتيار الزائد إذا كان معدل التسرب في حجرة التفاعل مرتفعًا جدًا لتحقيق فراغٍ عالي.
شاشة LCD - واجهة فحص بارامترات مزدوجة الخط تجعل العمل أسهل.
|
|
معدل التدفق الحجمي
|
النيتروجين N2 33 ل/ث
الهليوم He 39 ل/ث (2340ل/دقيقة)
الهيدروجين H2 32 ل/ث
|
|
نطاق العمل
|
من 1000 ملي بار إلى <1E-7 ملي بار
|
|
الضغط النهائي
|
<1E-8 ملي بار (بدون أي تسرب)
|
تحكم تدفق الغاز الكتلي
|
الهيكل
|
مصنوع من صمام فولاذي مقاوم للصدأ 316
خزان خلط الغاز: Ø80 × 120 مم
600 مم (ط) × 745 مم (عرض) × 700 مم (ارتفاع)
لوحة تحكم بشاشة تعمل باللمس ملونة 6 بوصات لتسهيل إعداد المعلمات.
تحكم باللمس عن بعد عبر الكمبيوتر قابل للتبديل.
نطاق التحكم في معدل التدفق وعدد المسارات الغازية متاح للتخصيص. يرجى الاتصال بنا للحصول على معلومات مفصلة.
|
|
الطاقة
|
23 واط لكل قناة
|
|
الجهد المقنن
|
AC 220V/50Hz مرحلي واحد
|
ملاحظات وضمان
|
ملاحظات التطبيق
|
يمكن استخدام ضغط الفراغ حتى 1500 درجة مئوية بشكل آمن مع أنابيب الألومينا
تم تصميم أفران الأنابيب مع أنابيب الألومينا للاستخدام تحت الفراغ وضغط منخفض < 0.12 ميجا باسكال (ضغط مطلق)
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة عام واحد (الأجزاء الاستهلاكية مثل أنابيب المعالجة، حلقات o، وعناصر التسخين غير مشمولة بالضمان، يرجى طلب استبدالاتها ضمن المنتجات المرتبطة أدناه).
|
|
الامتثال
|
- معتمد CE
- شهادة NRTL (UL61010) أو CSA متاحة بتكلفة إضافية.
|
|
أبعاد الشحن
|
حالتان في منصة بلاستيكية واحدة: 45×45×35 لكل حالة
|
|
تحذيرات
|
- تم تصميم أفران الأنابيب مع أنابيب الألومينا للاستخدام تحت الفراغ وضغط منخفض < 0.02 ميجا باسكال / 3 PSI
- انتباه: يجب تثبيت منظم ضغط مزدوج المرحلة على اسطوانة الغاز لتحديد الضغط تحت 3 PSI للتشغيل الآمن.
- لا تقم بتسخين الفرن بينما تكون صمام تحرير الغاز مغلقة ويوجد ضغط موجب داخل حجرة الفرن. يجب استخدام مقياس الضغط لمراقبة حالة الحجرة عن كثب في جميع الأوقات أثناء عملية التسخين؛ يرجى فتح صمام تحرير الغاز فور وصول ضغط الحجرة إلى أكثر من 3 PSI لمنع الأضرار غير المتوقعة.
- يجب أن يقتصر معدل التدفق للغازات على < 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة)
- يمكن استخدام ضغط الفراغ بشكل آمن حتى 1500 درجة مئوية
|
*المعلومات الواردة أعلاه عن المنتج تعتمد على بيانات نظرية وهي للرجوع إليها فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
