فرن أنبوب CVD مصغر 1200 درجة مئوية OTF-1200X-S50-2F الوصف
فرن أنبوب CVD مصغر 1200 درجة مئوية OTF-1200X-S50-2F هو فرن أنبوب مقسم معتمد من CE مصمم لتسخين العينات حتى 1200 درجة مئوية. يتميز بمخرج غاز KF25 ومقياس ضغط رقمي مثبت في الفلنج الصحيح، مما يمكنه من الاتصال بمضخة ميكانيكية سعتها 226 لتر/دقيقة (بما في ذلك فلتر المضخة). الفلنج الأيسر يتصل بمحطة خلط غاز ذات قناتين عبر أنبوب غاز مقاس 1/4 ". يتيح جهاز التحكم في درجة الحرارة الدقيق 30 مرحلة من خطوات التسخين والتبريد بدقة تبلغ ±1 درجة مئوية.
يشمل هذا النظام الفرن أيضًا مقياس ضغط Pirani المقاوم للتآكل لقياسات الفراغ الدقيقة مع الغازات العدوانية. بالإضافة إلى ذلك، يوفر مقياس الضغط الرقمي قراءات ضغط دقيقة لأي غازات مختلطة، مما يضمن التحكم الأمثل والقياس أثناء التجارب.
مواصفات فرن أنبوب CVD مصغر 1200 درجة مئوية OTF-1200X-S50-2F
مجموعة OTF-1200 فرن أنبوب
|
هيكل الفرن
|
- غلاف من الصلب قوي التحمل
- عزل حراري ألياف Al2O3 موفر للطاقة
|
|
عناصر التسخين
|
سبائك Fe-Cr-Al مضافة بواسطة Mo
|
|
الطاقة
|
1.75 كيلو واط، 208-240 فولت متردد، المرحلة الواحدة، 50/60 هرتز
|
|
درجة الحرارة العاملة
|
- الحد الأقصى. درجـة: 1200 درجة مئوية (ساعة واحدة); 1100 درجة مئوية (مستمرة)
- معدل التسخين: ≤20 درجة مئوية/دقيقة
- دقة الحرارة: ±1.0 درجة مئوية
|
|
منطقة التسخين
|
إجمالي طول منطقة التسخين: 8" (200 مم)؛ منطقة درجة حرارة ثابتة: 2.3" (60 مم) (+/-1 درجة مئوية) عند 900 درجة مئوية.
|
|
أنبوب المعالجة
|
أنبوب زجاجي: 50 مم OD × 44 مم ID × 600 مم L
|
|
جهاز التحكم في درجة الحرارة
|
- تحكم تلقائي PID وميزة ضبط تلقائي.
- 30 مرحلة قابلة للبرمجة للتحكم في التسخين ومعدل التبريد ومدة الاستراحة.
- حماية من ارتفاع الحرارة وكسر الترمومتر.
- حماية من درجة الحرارة الزائدة وإنذار يسمح بالتشغيل بدون حضور.
- دقة حرارة تبلغ +/– 1 درجة مئوية.
|
أجزاء أخرى
|
مقياس الفراغ
|
- مقياس ضغط غشاء سعة مضادة للتآكل مثبت على الفلنج الفراغ (الجانب الأيسر) للفرن الأنبوب ويوفر نطاق قياس واسع (10-5 ~ 1000 تور).
- قراءة ضغط دقيقة مع أي غازات مختلطة
|
|
محطة خلط الغاز ذات القناتين
|
- عدادات جريان عائمة مع معدل تدفق يتراوح بين 16 إلى 100 مل/دقيقة
- ثلاث مقاييس ضغط ميكانيكية (خزان الخلط): -0.1-0.15 ميجا باسكال، (0.01 ميجا باسكال/حصى)
- صمامات إبرة الفراغ مصنوعة من SS304
- ثلاث ملحقات أنابيب لأنبوب مقاس 1/4 " (نايلون أو فولاذ مقاوم للصدأ) على اللوحة الخلفية
- حجم مدمج: 340Lx300D x 180H مم (13.4"x12"x7")
|
|
فلنجات الفراغ والملحقات
|
- ملحقات الفراغ في العبوة القياسية:
مقياس فراغ رقمي واحد مع نطاق قياس بين 0.00001 ~ 1000 تور.
موصل أنبوب Swagelok واحد مقاس 1/4".
اثنان من مشابك KF-25 السريعة.
بوق طويل من الفولاذ المقاوم للصدأ بطول 600 مم.
|
|
مضخة الفراغ
|
- مضخة سرعة دوارة مزدوجة المرحلة EQ-FYP-Pump (156 لتر/دقيقة) مع فخ زيت، فلتر العادم، بلّغ و KF-D25 مدخل، و KF25 مشبك مضمونة.
- يمكن أن يصل ضغط الفراغ إلى 1E-2 تور (50 م-تور)
|
|
الوزن الصافي
|
100 رطل
|
|
أبعاد المنتج
|
- الفرن: 340 × 300 × 400 مم
- مضخة الفراغ: 440 × 160 × 300 مم
- محطة الغاز: 340 × 300 × 180 مم
|
|
وزن الشحن
|
200 رطل
|
|
حجم الشحن
|
45x45x35"
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة عام واحد من الشركة المصنعة
(الأجزاء القابلة للاستهلاك مثل أنابيب المعالجة، حلقات O والعناصر التسخين غير مغطاة بالضمان، يرجى طلب بدائل في المنتجات ذات الصلة أدناه).
|
|
الامتثال
|
معتمد من CE
يوجد شهادة NTRL و CSA متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية
|
|
ملاحظات التطبيق
|
تحذير: تم تصميم أفران الأنابيب مع أنبوب زجاجي للاستخدام مع ضغط فراغ وضغط منخفض أقل من 0.2 بار / 3 psi.
تعريف حد الفراغ لجميع أفران الأنابيب الزجاجية: * يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000 درجة مئوية.
يجب تقييد معدل تدفق الغازات إلى أقل من 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية على الأنبوب.
تنبيه: يجب تركيب منظم ضغط مزدوج المرحلة على اسطوانة الغاز لتقييد الضغط إلى أقل من 3 PSI لعملية آمنة.
|
تطبيقات فرن أنبوب CVD مصغر 1200 درجة مئوية OTF-1200X-S50-2F
- إيداع بخار كيميائي (CVD):
- إيداع الأفلام الرقيقة والطلاءات على الركائز.
- تستخدم في إنتاج الأجهزة شبه الموصلة وخلايا الطاقة الشمسية.
- تسهيل حركة الذرات أو الجزيئات داخل المواد الصلبة.
- أساسي لتطوير ومعالجة المواد شبه الموصلة.
- تمكين الشفاء، التلبيد، وغيرها من العلاجات الحرارية في بيئة فراغ محكومة.
- تقليل التلوث والأكسدة، مما يعزز خصائص المادة.
- يسمح بالتجارب التي تتطلب أجواء خاملة أو مختزلة.
- يحمي العينات من الأكسدة وغيرها من التفاعلات الجوية أثناء المعالجة.
تغليف فرن أنبوب CVD مصغر 1200 درجة مئوية OTF-1200X-S50-2F
يتم التعامل مع فرن أنبوب CVD مصغر 1200 درجة مئوية OTF-1200X-S50-2F بشكل دقيق خلال التخزين والنقل للحفاظ على جودة منتجنا في حالته الأصلية.
المواصفات
OTF-1200X سلسلة فرن أنبوبي
|
هيكل الفرن
|
- هيكل فولاذي قوي
- عزل حراري ألياف Al2O3 موفر للطاقة
|
|
عناصر التسخين
|
سبائك Fe-Cr-Al مضافة بمادة Mo
|
|
الطاقة
|
1.75KW، 208-240VAC، مرحلة واحدة، 50/60Hz
|
|
درجة الحرارة العاملة
|
- أقصى درجة: 1200℃ (1 ساعة)؛ 1100℃ (مستمر)
- معدل التسخين: ≤20℃/دقيقة
- دقة درجة الحرارة: ±1.0℃
|
|
منطقة التسخين
|
إجمالي طول منطقة التسخين: 8" (200mm)؛ منطقة درجة الحرارة الثابتة: 2.3" (60mm) (+/-1° مئوية) @ 900 °م.
|
|
أنبوب المعالجة
|
أنبوب زجاجي: 50mm OD x 44mm ID x 600mm L
|
|
وحدة التحكم في درجة الحرارة
|
- تحكم تلقائي PID ووظيفة المعايرة الذاتية.
- 30 قطاعًا قابلاً للبرمجة للتحكم في التسخين ومعدل التبريد ووقت الإقامة.
- حماية من ارتفاع درجة الحرارة وكسر الثيرموكوبل.
- حماية وتنبيه من ارتفاع درجة الحرارة يسمح بالتشغيل دون الحاجة للمشرفين.
- دقة درجة حرارة ±1 °مئوية.
|
أجزاء أخرى
|
مقياس الفراغ
|
- مقياس سعة غشاء مقاوم للتآكل مثبت على flange الفراغ (الجانب الأيسر) للفرن الأنبوبي ويوفر نطاق قياس واسع (10-5 ~ 1000 Torr).
- قراءة دقيقة للضغط مع أي غازات مختلطة
|
|
محطة خلط الغاز ذات القناتين
|
- عدادان تدفق عائم بمدى تدفق من 16 إلى 100 مل/دقيقة
- ثلاثة مقاييس ضغط ميكانيكية (خزان الخلط): -0.1-0.15 ميغا باسكال، (0.01 ميغا باسكال/حبيبة)
- صمامات إبرة فراغ مصنوعة من SS304
- ثلاثة تركيبات أنبوبية لخط 1/4" (نايلون أو فولاذ مقاوم للصدأ) على اللوحة الخلفية
- حجم مدمج: 340Lx300Dx 180H mm (13.4"x12"x7")
|
|
Flanges وتوصيلات الفراغ
|
- توصيلات الفراغ في الحزمة القياسية:
مقياس فراغ رقمي واحد بنطاق قياس 0.00001 ~ 1000 Torr
موصل أنبوب Swagelok بحجم 1/4"
clamp KF-25 سريعة واحدة
طوق فراغ SS بطول 600mm واحدة
|
|
مضخة فراغ
|
- مضخة فراغ دوارة مزدوجة المرحلة EQ-FYP-Pump (156L/m) مع فخ زيت، فلتر العادم، بيلوس وKF-D25 مدخل، وKF25 Clamp مشمولة.
- يمكن أن تصل درجة ضغط الفراغ إلى 1E-2 Torr (50 m-Torr)
|
|
الوزن الصافي
|
100 رطل
|
|
أبعاد المنتج
|
- الفرن: 340 x 300 x 400 mm
- مضخة الفراغ: 440 x 160 x 300 mm
- محطة الغاز: 340 x 300 x 180 mm
|
|
وزن الشحن
|
200 رطل
|
|
حجم الشحن
|
45x45x35"
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة عام واحد من الشركة المصنعة
(قطع الغيار القابلة للاستهلاك مثل أنابيب المعالجة، O-rings وعناصر التسخين لا تغطيها الضمان، يرجى طلب بدائل في المنتجات ذات الصلة أدناه).
|
|
الامتثال
|
معتمد CE
شهادة NTRL و CSA متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية
|
|
ملاحظات التطبيق
|
تحذير: تم تصميم الأفران الأنبوبية مع أنبوب زجاجي للاستخدام مع فراغ وضغط منخفض < 0.2 بار / 3 psi
تعريف حد الفراغ لجميع أفران الأنابيب الزجاجية: * يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000°م فقط
يجب أن يكون معدل تدفق الغازات محدودًا إلى < 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية على الأنبوب
اهتمام: يجب تثبيت منظم ضغط مزدوج المرحلة على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 PSI للتشغيل الآمن.
|
*المعلومات الواردة أعلاه عن المنتج تعتمد على بيانات نظرية وهي للرجوع إليها فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
