1200C فرن أنبوب ثلاث مناطق لـ CVD OTF-1200X-III-HVC-LD الوصف
OTF-1200X-III-HVC يتضمن فرن أنبوب ثلاث مناطق OTF-1200X-III، محطة تحكم تدفق الغاز بدقة، محطة فراغ عالي، ومكونات أساسية أخرى. تصل درجة حرارة العمل القصوى إلى 1200°C ويمكن أن تحقق مستوى فراغ نهائي قدره 10^-4 تور مع مجموعة الختم المقدمة. تمزج محطة تحكم تدفق الغاز المتعددة الأنواع من الغازات وتدخل الغاز المختلط إلى أنبوب رمل زجاجي داخل الفرن. إنه مثالي لإجراء تجارب مثل الترسيب الكيميائي بالبخار (CVD)، والانتشار، وعلاجات حرارية أخرى تحت ظروف الفراغ مع حماية الغاز الواقي. كما يتميز الفرن بشاشة عرض LED رقمية 4 قنوات لمراقبة تدفق الغاز بدقة.
1200C فرن أنبوب ثلاث مناطق لـ CVD OTF-1200X-III-HVC-LD المواصفات
سلسلة OTF-1200X فرن أنبوب
|
هيكل الفرن
|
- هيكل فولاذي مزدوج الطبقة مع تبريد هواء.
- ترموستات مدمج للتحكم في التبريد بشكل تلقائي عندما تكون درجة الحرارة أعلى من 55°C.
|
|
أنبوب المعالجة
|
- المادة: أنبوب زجاجي مدمج
- يتم تضمين أنبوب معالجة واحد مع الفرن.
|
|
الطاقة
|
7KW، 208-240VAC، مرحلة واحدة، 50/60Hz
|
|
درجة حرارة العمل
|
- الحد الأقصى. درجة الحرارة: 1200℃ (ساعة واحدة)؛ 1100℃ (مستمرة)
- معدل التسخين: ≤20℃/دقيقة
- دقة درجة الحرارة: ±1.0℃
|
|
طول منطقة التسخين
|
إجمالي منطقة التسخين: 900مم (300 مم + 300 مم + 300 مم)
|
|
عناصر التسخين
|
سبائك Fe-Cr-Al مشوبة بالمو
|
|
عناصر التحكم في درجة الحرارة
|
- ثلاثة وحدات تحكم في درجة الحرارة للتحكم في ثلاث مناطق بشكل منفصل.
- تحكم تلقائي PID مع 30 خطوة قابلة للبرمجة.
- دقة درجة الحرارة: ±1°C
- ترموكوبل: نوع K مدمج داخل الفرن
|
|
ختم الفراغ
|
- زوج واحد من شفة فراغ غير قابلة للصدأ مع:
جهاز قياس الضغط الميكانيكي واحد
صمامين إبرة
واحد موصل KF-40 لمحطة الفراغ العالي
|
|
الأبعاد
|
1100(ط) x 450(عرض) x 670(ارتفاع)، مم
|
|
الجهد المقنن
|
208-240VAC، مرحلة واحدة، 50/60Hz
|
محطة فراغ عالي
|
الهيكل
|
حجم العربة المتنقلة: 600 (ط) x 600 (عرض) x 700(ارتفاع)، مم
وزن التحميل الأقصى: 600 رطل على السطح
لوحة تحكم المضخة الجزيئية: رقمية LCD
داخل: مضخة فراغ
|
|
معدل تدفق الحجم
|
نيتروجين N2: 33 ل/ث
هيليوم He: 39 ل/ث (2340 لتر/دقيقة)
هيدروجين H2: 32 ل/ث
|
|
نطاق العمل
|
من 1000 ملّي بار إلى <1E-7 ملّي بار
|
|
الضغط النهائي
|
<1E-8 ملّي بار (بدون أي تسريبات)
|
|
الجهد والطاقة
|
110VAC أو 220VAC، 110W
|
تحكم تدفق الغاز بالكتلة
|
الهيكل
|
- نظام تحكم الغاز 2-9 قناة مع لوحة تحكم تعمل باللمس PLC وبرنامج تشغيل على الكمبيوتر
- شاشة LED
- 4 قنوات MFC مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316 مع نطاق تدفق الغاز كما يلي:
التحكم 1: 0~100SCCM
التحكم 2: 1~199 SCCM
التحكم 3: 1~199 SCCM
التحكم 4: 1~499 SCCM
- تمر قنوات الغاز الأربعة عبر خزان خلط الغاز: Φ80X120mm
- الأبعاد: 600(ط) x 745(عرض) x 700(ارتفاع)، مم
|
|
الطاقة
|
18W لكل قناة
|
|
الجهد المقنن
|
AC 208-240V، مرحلة واحدة، 50/60Hz
|
الشحن والضمان
|
أبعاد الشحن
|
إجمالي ثلاث منصات: (#1: 60" x 45" x 40"؛ #2: 48" x 40" x 42"؛ #3: 48" x 40" x 42")
|
|
وزن الشحن
|
850 رطل
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة عام واحد
(الأجزاء الاستهلاكية مثل أنابيب المعالجة، حلقات o، وعناصر التسخين غير مشمولة بالضمان، يرجى طلب الاستبدال من المنتجات ذات الصلة أدناه.)
|
|
الامتثال
|
معتمد بأشعار CE
شهادة NRTL أو CSA بتكلفة إضافية.
|
|
تحذير
|
تم تصميم أفران الأنابيب مع أنابيب رمل زجاجي للاستخدام تحت الفراغ والضغط المنخفض < 0.2 بار / 3 PSI
تنبيه: يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 PSI لتشغيل آمن.
يجب الحد من معدل تدفق الغازات إلى < 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية على الأنبوب
تعريف حد الفراغ لجميع أفران الأنابيب الزجاجية: * يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان فقط حتى 1000°C
|
1200C فرن أنبوب ثلاث مناطق لـ CVD OTF-1200X-III-HVC-LD التطبيقات
- الترسيب الكيميائي بالبخار (CVD):
- ترسيب الأفلام الرقيقة والتغطيات على الركائز.
- يستخدم في إنتاج أجهزة أشباه الموصلات وخلايا الطاقة الشمسية.
- تسهل حركة الذرات أو الجزيئات داخل المواد الصلبة.
- أساسية لتطوير ومعالجة مواد أشباه الموصلات.
- علاجات حرارية تحت الفراغ:
- تمكن من التلدين، والتلبيد، وعلاجات الحرارة الأخرى في بيئة فراغ محكومة.
- تقلل من التلوث والأكسدة، مما يعزز من خصائص المواد.
- تسمح بتجارب تتطلب أجواء غير نشطة أو مختزلة.
- تحمي العينات من الأكسدة والتفاعلات الجوية الأخرى أثناء المعالجة.
1200C فرن أنبوب ثلاث مناطق لـ CVD OTF-1200X-III-HVC-LD التعبئة
تم التعامل مع 1200C فرن أنبوب ثلاث مناطق لـ CVD OTF-1200X-III-HVC-LD بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة المنتج في حالته الأصلية.
المواصفات
OTF-1200X سلسلة فرن أنبوب
|
هيكل الفرن
|
- هيكل فولاذي مزدوج مع تبريد هوائي.
- ثرموستات مدمج للتحكم في التبريد تلقائيًا عندما تكون درجة الحرارة أعلى من 55 درجة مئوية.
|
|
أنبوب المعالجة
|
- المادة: أنبوب كوارتز مصهور
- يتضمن فرن واحد أنبوب معالجة.
|
|
الطاقة
|
7KW ، 208-240VAC ، مرحلة واحدة ، 50/60Hz
|
|
درجة الحرارة التشغيلية
|
- الحد الأقصى لدرجة الحرارة: 1200℃ (ساعة واحدة)؛ 1100℃ (متواصل)
- معدل التسخين: ≤ 20℃/دقيقة
- دقة درجة الحرارة: ± 1.0℃
|
|
طول منطقة التسخين
|
إجمالي طول منطقة التسخين: 900 مم (300 مم + 300 مم + 300 مم)
|
|
عناصر التسخين
|
سبائك Fe-Cr-Al المدعومة بالمو
|
|
جهاز التحكم في درجة الحرارة
|
- ثلاثة أجهزة تحكم في درجة الحرارة دقيقة للتحكم في ثلاث مناطق بصورة منفصلة.
- تحكم PID تلقائي مع 30 خطوة من المقاطع القابلة للبرمجة.
- دقة درجة الحرارة: ± 1 درجة مئوية
- المزدوج الحراري: نوع K مدمج داخل الفرن
|
|
ختم الفراغ
|
- زوج واحد من شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ مع:
عداد ضغط ميكانيكي واحد
صمامين إبرة
موصل KF-40 لمحطة الفراغ العالي
|
|
الأبعاد
|
1100 (طول) × 450 (عرض) × 670 (ارتفاع) مم
|
|
الجهد الكهربائي المحدد
|
208-240VAC ، مرحلة واحدة ، 50/60Hz
|
محطة الفراغ العالي
|
الهيكل
|
حجم العربة المتنقلة: 600 (طول) × 600 (عرض) × 700 (ارتفاع) مم
الحمولة القصوى: 600 رطل على القمة
لوحة تحكم المضخة الجزيئية: LCD رقمي
بالداخل: مضخة فراغ
|
|
معدل تدفق الحجم
|
النيتروجين N2: 33 ل/ث
الهيليوم He: 39 ل/ث (2340 ل/دقيقة)
الهيدروجين H2: 32 ل/ث
|
|
نطاق العمل
|
من 1000 مللي بار إلى < 1E-7 مللي بار
|
|
الضغط النهائي
|
< 1E-8 مللي بار (بدون أي تسرب)
|
|
الجهد والطاقة
|
110VAC أو 220VAC ، 110W
|
تحكم تدفق الغاز الكتلي
|
الهيكل
|
- نظام التحكم في الغاز بـ 2-9 قناة مع لوحة لمس PLC وبرنامج تشغيل للكمبيوتر
- عرض LED
- 4 قنوات MFC مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316 مع نطاق تدفق الغاز كما يلي:
التحكم 1: 0~100SCCM
التحكم 2: 1~199 SCCM
التحكم 3: 1~199 SCCM
التحكم 4: 1~499 SCCM
- تتدفق القنوات الأربع من الغاز عبر خزان مزج الغاز: Φ80X120 مم
- الأبعاد: 600 (طول) × 745 (عرض) × 700 (ارتفاع) مم
|
|
الطاقة
|
18W لكل قناة
|
|
الجهد الكهربائي المحدد
|
AC 208-240V ، مرحلة واحدة ، 50/60Hz
|
الشحن والضمان
|
أبعاد الشحن
|
إجمالي ثلاثة منصات: (#1: 60" x 45" x 40"; #2: 48" x 40" x 42"; #3: 48" x 40" x 42")
|
|
وزن الشحن
|
850 رطل
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة عام واحد
(لا تشمل الأجزاء الاستهلاكية مثل أنابيب المعالجة والأختام والعناصر الحرارية الضمان، يرجى طلب الاستبدال من المنتجات ذات الصلة أدناه.)
|
|
الامتثال
|
معتمد CE
شهادة NRTL أو CSA بتكلفة إضافية.
|
|
تحذير
|
تم تصميم أفران الأنابيب مع أنابيب الكوارتز للاستخدام تحت فراغ وضغط منخفض < 0.2 بار / 3 رطل لكل بوصة مربعة
انتباه: يجب تثبيت منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 رطل لكل بوصة مربعة للتشغيل الآمن.
ينبغي أن يقتصر معدل تدفق الغاز على < 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية على الأنبوب
تعريف حد الفراغ لجميع أفران أنابيب الكوارتز: * يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000 درجة مئوية
|
*المعلومات الواردة أعلاه عن المنتج تعتمد على بيانات نظرية وهي للرجوع إليها فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
