فرن أنبوب 1200 درجة مئوية لعمليات CVD OTF-1200X-HVC3 الوصف
فرن أنبوب 1200 درجة مئوية لعمليات CVD OTF-1200X-HVC3 يتكون من فرن أنبوب من سلسلة OTF-1200X، محطة تحكم دقيقة لتدفق الغاز، محطة فراغ عالي، ومكونات أساسية أخرى. هذه المحطة لديها أقصى درجة حرارة تشغيل تبلغ 1200 درجة مئوية ويمكنها تحقيق مستوى فراغ نهائي يبلغ 10^-4 تور مع مجموعة الإغلاق المقدمة. محطة التحكم في تدفق الغاز يمكنها خلط ما يصل إلى ثلاثة أنواع من الغازات وتسمح للغازات المختلطة بالتدفق إلى أنبوب الكوارتز المنصهر داخل الفرن. هذه الإعداد مثالي لإجراء تجارب مثل ترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD)، والانتشار، وعلاجات حرارية أخرى تحت ظروف الفراغ مع حماية الغاز الواقي.
مواصفات فرن أنبوب 1200 درجة مئوية لعمليات CVD OTF-1200X-HVC3
سلسلة OTF-1200X فرن أنبوب
|
هيكل الفرن
|
- غلاف من الصلب مزدوج الطبقات مع تبريد هوائي.
- ترموستات مدمجة للتحكم في التشغيل تلقائيًا عند تجاوز درجة الحرارة 55 درجة مئوية.
|
|
أنبوب المعالجة
|
- المادة: أنبوب كوارتز منصهر
- أنبوب معالجة واحد مرفق مع الفرن.
|
|
الطاقة
|
2.5 كيلو واط، 208-240 فولت AC، مرحلة واحدة، 50/60 هرتز
|
|
درجة الحرارة التشغيلية
|
- أقصى درجة حرارة: 1200℃ (ساعة واحدة)؛ 1100℃ (مستمر)
- معدل التسخين: ≤20℃/دقيقة
- دقة درجة الحرارة: ±1.0℃
|
|
طول منطقة التسخين
|
- إجمالي منطقة التسخين: 440 مم
- المنطقة ذات درجة الحرارة الثابتة: 150 مم (±1 درجة مئوية)
|
|
عناصر التسخين
|
سبيكة Fe-Cr-Al مدعومة بـ Mo
|
|
تحكم درجة الحرارة
|
- تحكم تلقائي PID مع 30 مرحلة قابلة للبرمجة.
- دقة درجة الحرارة: ±1.0℃
- مزدوج الحرارة: نوع K مدمج داخل الفرن
|
|
إغلاق الفراغ
|
- زوج واحد من فلانجات الفولاذ المقاوم للصدأ مع:
مقياس ضغط ميكانيكي
صمامين إبرة
موصل KF-25 لمحطة الفراغ العالي
|
|
الطاقة
|
100-110 واط
|
|
الجهد المRated
|
208-240 فولت AC، مرحلة واحدة، 50/60 هرتز
|
محطة الفراغ العالي
|
الهيكل
|
حجم العربة المتنقلة: 600 (طول) × 600 (عرض) × 700 (ارتفاع)، مم
أقصى تحميل: 600 رطل على القمة
لوحة تحكم المضخة الجزيئية: LCD رقمي
بالداخل: مضخة فراغ
|
|
معدل تدفق الحجم
|
النيتروجين N2: 33 ل/ث
الهليوم He: 39 ل/ث (2340 ل/دقيقة)
الهيدروجين H2: 32 ل/ث
|
|
نطاق العمل
|
من 1000 مللي بار إلى <1E-7 مللي بار
|
|
الضغط النهائي
|
<1E-8 مللي بار (بدون أي تسرب)
|
تحكم تدفق الغاز
|
الهيكل
|
مصنوع من صمام الفولاذ المقاوم للصدأ 316
خزان خلط الغاز: Φ80X120 مم
600 مم (طول) × 745 مم (عرض) × 700 مم (ارتفاع)
لوحة تحكم تعمل باللمس ملونة 6 بوصات لتسهيل إعداد المعلمات.
تحكم شاشة تعمل باللمس وإمكانية التبديل عن بعد باستخدام الكمبيوتر.
|
|
الطاقة
|
23 واط لكل قناة
|
|
الجهد المRated
|
AC 220 فولت/50 هرتز مرحلة واحدة
|
فرن أنبوب 1200 درجة مئوية لعمليات CVD OTF-1200X-HVC3 التطبيقات
- ترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD): يستخدم لترسيب الأفلام الرقيقة والم coating على الركائز من خلال خلط وتفاعل غازات مختلفة عند درجات حرارة عالية.
- عمليات الانتشار: تسهل حركة الذرات أو الجزيئات داخل المواد الصلبة، وهو أمر أساسي في تصنيع أشباه الموصلات وعلوم المواد الأخرى.
- التسخين: يساعد في تخفيف الضغوط الداخلية، وتحسين الليونة، وتكرير البنية المجهرية للمواد.
- تلبيد: مناسب لضغط وتشكيل الكتل الصلبة من المواد المسحوقة دون إذابتها، ويستخدم على نطاق واسع في السيراميك والمعادن.
- أبحاث المواد: مثالي لدراسة الخصائص الحرارية وسلوكيات مختلف المواد تحت ظروف جوية محكومة.
فرن أنبوب 1200 درجة مئوية لعمليات CVD OTF-1200X-HVC3 التعبئة
يتم التعامل مع فرن أنبوب 1200 درجة مئوية لعمليات CVD OTF-1200X-HVC3 بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة المنتج في حالته الأصلية.
المواصفات
OTF-1200X Series Tube Furnace
|
هيكل الفرن
|
- غلاف فولاذي مزدوج الطبقة مع تبريد هوائي.
- ترموستات مدمج للتحكم التلقائي في التبريد عند > 55°C.
|
|
أنبوب المعالجة
|
- المادة: أنبوب كوارتز مصهور
- يشمل الفرن أنبوب معالجة واحد.
|
|
الطاقة
|
2.5KW، 208-240VAC، مرحلة واحدة، 50/60Hz
|
|
درجة الحرارة العاملة
|
- الحد الأقصى. الحرارة: 1200℃ (1 ساعة)؛ 1100℃ (مستمر)
- معدل التسخين: ≤20℃/دقيقة
- دقة الحرارة: ±1.0℃
|
|
طول منطقة التسخين
|
- إجمالي منطقة التسخين: 440 مم
- منطقة درجة الحرارة الثابتة: 150 مم (±1°C)
|
|
عناصر التسخين
|
سبائك Fe-Cr-Al المضافة بمادة Mo
|
|
وحدة التحكم في درجة الحرارة
|
- تحكم تلقائي PID مع 30 خطوة قابلة للبرمجة.
- دقة الحرارة: ±1°C
- جهاز قياس الحرارة: نوع K مدمج داخل الفرن
|
|
ختم الفراغ
|
- زوج واحد من مشابك الفراغ الفولاذية المقاومة للصدأ مع:
مؤشر ضغط ميكانيكي واحد
صمامين إبرة
موصل KF-25 لمحطة الفراغ العالي
|
|
الطاقة
|
100-110W
|
|
الجهد الاسمي
|
208-240VAC، مرحلة واحدة، 50/60Hz
|
محطة الفراغ العالي
|
الهيكل
|
حجم عربة متنقلة: 600 (طول) x 600 (عرض) x 700 (ارتفاع) مم
الحد الأقصى للتحميل: 600 رطل على السطح
لوحة تحكم المضخة الجزيئية: شاشة LCD رقمية
الداخل: مضخة فراغ
|
|
معدل تدفق الحجم
|
النيتروجين N2: 33 L/s
الهليوم He: 39 L/s (2340L/minute)
الهيدروجين H2: 32 L/s
|
|
نطاق العمل
|
من 1000 م بار إلى <1E-7 م بار
|
|
الضغط النهائي
|
<1E-8 م بار (بدون أي تسرب)
|
تحكم تدفق الغاز بالكتلة
|
الهيكل
|
مصنوع من صمام الفولاذ المقاوم للصدأ 316
خزان خلط الغاز: Φ80X120 مم
600 مم (طول) x 745 مم (عرض) x 700 مم (ارتفاع)
لوحة تحكم تعمل باللمس مقاس 6 بوصات لتسهيل إعداد المعلمات.
تحكم باللمس والتحكم عن بعد عبر الحاسوب يمكن التبديل بينهما.
|
|
الطاقة
|
23W لكل قناة
|
|
الجهد الاسمي
|
AC 220V/50Hz مرحلة واحدة
|
*المعلومات الواردة أعلاه عن المنتج تعتمد على بيانات نظرية وهي للرجوع إليها فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
