1200C فرن أنابيب الكوارتز ثلاثي المناطق OTF-1200X-III-80-F3LV الوصف
فرن أنابيب الكوارتز ثلاثي المناطق OTF-1200X-III-80-F3LV هو فرن أنابيب قابل للتفكيك مزود بمضخة فراغ ميكانيكية، عداد فراغ رقمي، ونظام تدفق غاز ثلاثي القنوات. يمكنه تحقيق مستويات فراغ تصل إلى 10^-2 تور وخلط من 1 إلى 3 أنواع من الغازات لتطبيقات الترسيب الكيميائي البخاري (CVD) أو عمليات الانتشار. يتضمن نظام الفرن أيضًا مقياس بييراني للقوة الجهدية، مما يمكنه من قياس الفراغ بدقة حتى مع الغازات العدوانية.
مواصفات فرن أنابيب الكوارتز ثلاثي المناطق OTF-1200X-III-80-F3LV
|
هيكل الفرن
|
- غلاف فولاذي مزدوج الطبقة مع تبريد هوائي
- عزل من ألياف الألومينا عالية النقاء
- تصميم غطاء قابل للتفكيك
|
|
الطاقة
|
5KW، 208-240VAC، مرحلة واحدة، 50/60Hz
|
|
درجة حرارة العمل
|
- الدرجة القصوى: 1200℃ (1 ساعة)؛ 1100℃ (مستمر)
- معدل التسخين: ≤20℃/دقيقة
- دقة درجة الحرارة: ±1.0℃
|
|
طول منطقة التسخين
|
- ثلاث مناطق: (880mm، 35" بالإجمال)
المنطقة 1: 220mm (8.6")
المنطقة 2: 440mm (17.3")
المنطقة 3: 220 mm (8.6")
|
|
منطقة درجة الحرارة الثابتة
|
- إذا تم ضبط المناطق الثلاثة على نفس درجة الحرارة، فإن طول المنطقة الثابتة هو 25" (625 مم) مع تباين في درجة الحرارة قدره ±1℃
- إذا تم استخدام منطقة واحدة فقط (المنطقة الوسطى)، فإن طول المنطقة الثابتة هو 4.3" (110 مم) مع تباين في درجة الحرارة قدره ±1℃
|
|
عناصر التسخين
|
سبائك Fe-Cr-Al مدعومة بالمويلبدنوم
|
|
وحدة التحكم في درجة الحرارة
|
- ثلاث وحدات تحكم دقيقة لدرجة الحرارة للتحكم في ثلاث مناطق بشكل منفصل
- تحكم تلقائي PID مع 30 شريحة قابلة للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين، ومعدل التبريد، ووقت الانتظار
- حماية مدمجة من التسخين الزائد وكسر الثرمومتر
- حماية من درجات الحرارة المرتفعة وتنبيه يسمح بالتشغيل بدون مراقب
- دقة درجة حرارة ±1℃
- منفذ اتصالات RS485
|
|
مستشعر الفراغ والعرض
|
- مقياس جهد مقاوم للتآكل مع رأس مستشعر مطلي بالسيراميك مصمم خصيصًا لقياسات الفراغ بوجود غازات تآكلية
- المقياس مثبت على فلنج الفراغ لفرن الأنابيب ويوفر نطاق قياس واسع (10^-5 ~ 1000 تور)
|
|
أنبوب الكوارتز وفلنجات الإغلاق
|
- أنبوب كوارتز مدمج بقطر خارجي 80 مم وقطر داخلي 72 مم وبطول 1400 مم.
- تم تضمين فلنجات الفراغ مع الصمامات وعدادات الضغط.
|
|
فلنجات منزلقة مع حامل العينة
|
شريحة لنقل العينة (تشغيل يدوي) متاحة كخيار بتكلفة إضافية قدرها 1900 دولار
|
|
فلنجات الإغلاق الفراغي
|
- فلنجات فولاذية مقاومة للصدأ متضمنة مع كل من عداد الضغط والصمامات.
- أدنى ضغط فراغ يمكن تحقيقه بواسطة المضخة الميكانيكية هو 5.5 ميكرو تور (5.5x10^-3 تور). يمكن أن تصل الضغط إلى 10^-5 تور باستخدام مضخة ميكانيكية + مضخة جزيئية.
- معدل التسرب أقل من 5 ميكرو تور / دقيقة، والضغط الفراغي المستقر بعد 24 ساعة هو أقل من 2 تور.
|
|
مراقبة الأكسجين
|
يمكن استخدام مستشعر الأكسجين لمراقبة مستوى الأكسجين في الغاز المستخدم في أنظمة CVD لمنع أو تقليل الأكسدة.
|
|
مضخة الفراغ
|
تم تضمين مضخة فراغ دوارة سعة 120 لتر/دقيقة مع أقصى ضغط فراغ يصل إلى 10^-2 تور. تم تضمين أنبوب توصيل من الفولاذ المقاوم للصدأ للتوصيل إلى فرن الأنابيب.
|
|
عداد تدفق الغاز وعداد الضغط
|
- تم تثبيت ثلاثة عدادات لتدفق الغاز بدقة 4% (نطاق كامل) داخل العربة المتحركة لتمكين مراقبة معدلات تدفق الغاز (ثلاثة أنواع مختلفة من الغازات في المجموع).
عداد تدفق مباشر مضغوط، 10-100 سم³/دقيقة.
عداد تدفق مباشر مضغوط، 16-160 سم³/دقيقة.
عداد تدفق مباشر مضغوط، 25-250 سم³/دقيقة.
- تم تثبيت أربعة عدادات ضغط داخل العربة المتحركة التي يمكن أن تراقب ضغط ثلاثة أنواع من الغاز المتدفق بالإضافة إلى ضغط خزان الخلط.
|
|
وزن الشحن
|
850 رطل
|
|
الصمامات
|
تم تثبيت أربعة صمامات من الفولاذ المقاوم للصدأ في اللوحة الجانبية للعربة المتحركة للتحكم في خلط ثلاثة غازات مدخلة بشكل منفصل
|
|
الأبعاد
|
- الفرن: 1100 X 450 x 670 مم
- حالة النقل السفلية: 600 x 600 x 597 مم
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة عام من الشركة المصنعة.
|
|
تحذير وملاحظات
|
- لتحقيق درجة حرارة دقيقة داخل فرن الأنابيب، يجب عليك معايرة درجة الحرارة بنفسك.
- تم تصميم أفران الأنابيب مع أنابيب الألومينا للاستخدام تحت الفراغ والضغط المنخفض أقل من 0.2 بار / 3 psi / 0.02 ميجا باسكال
- يجب أن يقتصر معدل تدفق الغازات على < 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية على الأنبوب
- انتباه: يجب تثبيت منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 PSI للتشغيل الآمن.
- تعريف حد الفراغ لجميع أفران أنابيب الكوارتز: * يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000℃
|
|
الشهادة
|
- معتمد CE
- تصديق NRTL أو CSA متاح بتكلفة إضافية.
|
تطبيقات فرن أنابيب الكوارتز ثلاثي المناطق OTF-1200X-III-80-F3LV
- ترسيب البخار الكيميائي (CVD): يستخدم لترسيب الأفلام والرواسب الرقيقة على الركائز من خلال خلط وتفاعل الغازات المختلفة عند درجات حرارة عالية.
- عمليات الانتشار: يسهل حركة الذرات أو الجزيئات داخل المواد الصلبة، وهو أمر أساسي في تصنيع أشباه الموصلات وغيرها من علوم المواد.
- التخمير: يساعد في تخفيف الضغوط الداخلية، وتحسين اللدونة، وتنقية الهيكل المجهري للمواد.
- التلبيد: مناسب لتكثيف وتشكيل كتل صلبة من المواد البودرة دون أن تذوب، ويستخدم على نطاق واسع في صناعة السيراميك والمعادن.
- أبحاث المواد: مثالي لدراسة خصائص المواد والسلوكيات المختلفة تحت ظروف جوية محكومة.
تغليف فرن أنابيب الكوارتز ثلاثي المناطق OTF-1200X-III-80-F3LV
يتم التعامل مع فرن أنابيب الكوارتز ثلاثي المناطق OTF-1200X-III-80-F3LV بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة المنتج في حالته الأصلية.
المواصفات
|
هيكل الفرن
|
- غطاء فولاذي مزدوج مع تبريد هواء
- عزل ألياف ألمنيوم عالي النقاء
- تصميم غطاء قابل للفصل
|
|
الطاقة
|
5KW، 208-240VAC، طور أحادي، 50/60Hz
|
|
درجة الحرارة العملية
|
- أقصى درجة حرارة: 1200℃ (ساعة واحدة)؛ 1100℃ (بشكل مستمر)
- معدل التسخين: ≤20℃/دقيقة
- دقة درجة الحرارة: ±1.0℃
|
|
طول منطقة التسخين
|
- ثلاث مناطق: (880 مم، 35" بالمجموع)
المنطقة 1: 220 مم (8.6")
المنطقة 2: 440 مم (17.3")
المنطقة 3: 220 مم (8.6")
|
|
منطقة درجة الحرارة الثابتة
|
- إذا تم تحديد ثلاث مناطق عند نفس درجة الحرارة، فإن منطقة درجة الحرارة الثابتة ستكون بطول 25" (625 مم) مع فارق درجة حرارة يبلغ ±1°C
- إذا تم استخدام منطقة واحدة فقط (المنطقة الوسطى)، فإن منطقة درجة الحرارة الثابتة ستكون بطول 4.3" (110 مم) مع فارق درجة حرارة يبلغ ±1°C
|
|
عناصر التسخين
|
سبائك Fe-Cr-Al مضافة بـ Mo
|
|
وحدة التحكم في درجة الحرارة
|
- ثلاث وحدات تحكم دقيقة في درجة الحرارة للتحكم في المناطق الثلاث بشكل منفصل
- تحكم PID التلقائي مع 30 شريحة قابلة للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين ومعدل التبريد ووقت الانتظار
- حماية مدمجة من الحرارة الزائدة وكسر الثرمومتر
- حماية من ارتفاع درجة الحرارة وتنبيه يسمح بالتشغيل بدون مشرف(ين)
- دقة درجة حرارة ± 1℃
- منفذ اتصالات RS485
|
|
مستشعر وفحص التفريغ
|
- مقياس ضغط سعه مع غشاء مقاوم للتآكل مع رأس مستشعر مطلي بالسيراميك مصمم خصيصًا لقياسات التفريغ مع وجود غازات مدمرة
- يتم تركيب المقياس على فلنجة التفريغ للفرن ويقدم نطاق قياس واسع (10^-5 ~ 1000 تور)
|
|
أنبوب الكوارتز وفلنغات الإغلاق
|
- أنبوب كوارتز مندمج بقطر خارجي 80 مم × قطر داخلي 72 مم × 1400 مم متضمن.
- فلنغات تفريغ مع صمامات ومقاييس ضغط متضمنة.
|
|
فلنجة منزلقة مع حامل عينة
|
الانزلاق لنقل العينة (يعمل يدويًا) متوفر كخيار بتكلفة إضافية 1900 دولار
|
|
فلنغات تفريغ محكمة
|
- فلنغان فولاذية مقاومة للصدأ مع مقياس تفريغ وصمامات متضمنة.
- أقل ضغط تفريغي يمكن الوصول إليه بواسطة المضخة الميكانيكية هو 5.5 م-تور. (5.5x10^-3 تور). يمكن أن تصل الضغط إلى 10^-5 تور باستخدام مضخة ميكانيكية + مضخة جزيئية.
- معدل التسرب هو < 5 م-تور / دقيقة. والضغط التفريغي المستقر بعد 24 ساعة هو < 2 تور.
|
|
مراقبة الأكسجين
|
يمكن استخدام مستشعر الأكسجين لمراقبة مستوى الأكسجين للغازات المستخدمة في أنظمة CVD لمنع أو تقليل الأكسدة.
|
|
مضخة التفريغ
|
مضخة تفريغ دائرية ذات شفرات 120 لتر/دقيقة متضمنة مع أقصى ضغط تفريغي 10^-2 تور. يتم تضمين أنبوب فولاذي مقاوم للصدأ للتوصيل بالفرن.
|
|
مقياس تدفق الغاز ومقياس الضغط
|
- تم تركيب ثلاثة مقاييس تدفق غاز (دقة 4% FS) داخل العربة المتنقلة لتمكين مراقبة معدلات تدفق الغاز (ثلاثة أنواع مختلفة من الغازات بالمجموع).
مقياس تدفق مباشر مضغوط، 10-100 مل/دقيقة.
مقياس تدفق مباشر مضغوط، 16-160 مل/دقيقة.
مقياس تدفق مباشر مضغوط، 25-250 مل/دقيقة.
- تم تركيب أربعة مقاييس ضغط داخل العربة المتنقلة والتي قادرة على مراقبة ضغط ثلاثة أنواع من الغاز المتدفق بالإضافة إلى ضغط خزان المزج.
|
|
وزن الشحن
|
850 رطل
|
|
صمامات
|
تم تركيب أربعة صمامات فولاذية مقاومة للصدأ في اللوحة الجانبية للعربة المتنقلة للتحكم في مزج الغازات الثلاثة المدخلة بشكل منفصل.
|
|
الأبعاد
|
- الفرن: 1100 × 450 × 670 مم
- صندوق العربة المتنقلة السفلي: 600 × 600 × 597 مم
|
|
الضمان
|
ضمان محدود لمدة عام واحد من الشركة المصنعة.
|
|
تحذير وملاحظات
|
- للحصول على درجة حرارة دقيقة داخل الفرن، تحتاج إلى معايرة درجة الحرارة بنفسك.
- تم تصميم الأفران الألمنيومية للاستخدام تحت التفريغ وضغط منخفض < 0.2 بار / 3 psi / 0.02 ميغاباسكال.
- يجب أن يقتصر معدل تدفق الغازات على < 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية على الأنبوب.
- انتباه: يجب تركيب منظم ضغط مزدوج المرحلة على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 PSI لعملية آمنة.
- تعريف حد التفريغ لجميع أفران أنبوب الكوارتز: * يمكن استخدام ضغوط التفريغ بأمان حتى 1000 درجة مئوية.
|
|
الشهادة
|
- معتمد CE
- شهادة NRTL أو CSA متوفرة بتكلفة إضافية.
|
*المعلومات الواردة أعلاه عن المنتج تعتمد على بيانات نظرية وهي للرجوع إليها فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
