غير متوفر MF5928 (تم إيقافه) فرن أنبوب كوارتز ثلاثي المناطق OTF-1200X-III-80-F3LV 1200C

هيكل الفرن

• غلاف فولاذي مزدوج الطبقة مع تبريد هوائي
• عزل من ألياف الألومينا عالية النقاء
• تصميم غطاء قابل للتفكيك

الطاقة

5KW، 208-240VAC، مرحلة واحدة، 50/60Hz

درجة حرارة العمل

• الدرجة القصوى: 1200℃ (1 ساعة)؛ 1100℃ (مستمر)
• معدل التسخين: ≤20℃/دقيقة
• دقة درجة الحرارة: ±1.0℃

طول منطقة التسخين

• ثلاث مناطق: (880mm، 35" بالإجمال)

المنطقة 1: 220mm (8.6")

المنطقة 2: 440mm (17.3")

المنطقة 3: 220 mm (8.6")

منطقة درجة الحرارة الثابتة

• إذا تم ضبط المناطق الثلاثة على نفس درجة الحرارة، فإن طول المنطقة الثابتة هو 25" (625 مم) مع تباين في درجة الحرارة قدره ±1℃
• إذا تم استخدام منطقة واحدة فقط (المنطقة الوسطى)، فإن طول المنطقة الثابتة هو 4.3" (110 مم) مع تباين في درجة الحرارة قدره ±1℃

عناصر التسخين

سبائك Fe-Cr-Al مدعومة بالمويلبدنوم

وحدة التحكم في درجة الحرارة

• ثلاث وحدات تحكم دقيقة لدرجة الحرارة للتحكم في ثلاث مناطق بشكل منفصل
• تحكم تلقائي PID مع 30 شريحة قابلة للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين، ومعدل التبريد، ووقت الانتظار
• حماية مدمجة من التسخين الزائد وكسر الثرمومتر
• حماية من درجات الحرارة المرتفعة وتنبيه يسمح بالتشغيل بدون مراقب
• دقة درجة حرارة ±1℃
• منفذ اتصالات RS485

مستشعر الفراغ والعرض

• مقياس جهد مقاوم للتآكل مع رأس مستشعر مطلي بالسيراميك مصمم خصيصًا لقياسات الفراغ بوجود غازات تآكلية
• المقياس مثبت على فلنج الفراغ لفرن الأنابيب ويوفر نطاق قياس واسع (10^-5 ~ 1000 تور)

أنبوب الكوارتز وفلنجات الإغلاق

• أنبوب كوارتز مدمج بقطر خارجي 80 مم وقطر داخلي 72 مم وبطول 1400 مم.
• تم تضمين فلنجات الفراغ مع الصمامات وعدادات الضغط.

فلنجات منزلقة مع حامل العينة

شريحة لنقل العينة (تشغيل يدوي) متاحة كخيار بتكلفة إضافية قدرها 1900 دولار

فلنجات الإغلاق الفراغي

• فلنجات فولاذية مقاومة للصدأ متضمنة مع كل من عداد الضغط والصمامات.
• أدنى ضغط فراغ يمكن تحقيقه بواسطة المضخة الميكانيكية هو 5.5 ميكرو تور (5.5x10^-3 تور). يمكن أن تصل الضغط إلى 10^-5 تور باستخدام مضخة ميكانيكية + مضخة جزيئية.
• معدل التسرب أقل من 5 ميكرو تور / دقيقة، والضغط الفراغي المستقر بعد 24 ساعة هو أقل من 2 تور.

مراقبة الأكسجين

يمكن استخدام مستشعر الأكسجين لمراقبة مستوى الأكسجين في الغاز المستخدم في أنظمة CVD لمنع أو تقليل الأكسدة.

مضخة الفراغ

تم تضمين مضخة فراغ دوارة سعة 120 لتر/دقيقة مع أقصى ضغط فراغ يصل إلى 10^-2 تور. تم تضمين أنبوب توصيل من الفولاذ المقاوم للصدأ للتوصيل إلى فرن الأنابيب.

عداد تدفق الغاز وعداد الضغط

• تم تثبيت ثلاثة عدادات لتدفق الغاز بدقة 4% (نطاق كامل) داخل العربة المتحركة لتمكين مراقبة معدلات تدفق الغاز (ثلاثة أنواع مختلفة من الغازات في المجموع).

عداد تدفق مباشر مضغوط، 10-100 سم³/دقيقة.

عداد تدفق مباشر مضغوط، 16-160 سم³/دقيقة.

عداد تدفق مباشر مضغوط، 25-250 سم³/دقيقة.

• تم تثبيت أربعة عدادات ضغط داخل العربة المتحركة التي يمكن أن تراقب ضغط ثلاثة أنواع من الغاز المتدفق بالإضافة إلى ضغط خزان الخلط.

وزن الشحن

850 رطل

الصمامات

تم تثبيت أربعة صمامات من الفولاذ المقاوم للصدأ في اللوحة الجانبية للعربة المتحركة للتحكم في خلط ثلاثة غازات مدخلة بشكل منفصل

الأبعاد

• الفرن: 1100 X 450 x 670 مم
• حالة النقل السفلية: 600 x 600 x 597 مم

الضمان

ضمان محدود لمدة عام من الشركة المصنعة.

تحذير وملاحظات

• لتحقيق درجة حرارة دقيقة داخل فرن الأنابيب، يجب عليك معايرة درجة الحرارة بنفسك.
• تم تصميم أفران الأنابيب مع أنابيب الألومينا للاستخدام تحت الفراغ والضغط المنخفض أقل من 0.2 بار / 3 psi / 0.02 ميجا باسكال
• يجب أن يقتصر معدل تدفق الغازات على < 200 SCCM (أو 200 مل/دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية على الأنبوب
• انتباه: يجب تثبيت منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 PSI للتشغيل الآمن.
• تعريف حد الفراغ لجميع أفران أنابيب الكوارتز: * يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000℃

الشهادة

• معتمد CE
• تصديق NRTL أو CSA متاح بتكلفة إضافية.