هدف الاخرق المستوي لأكسيد الألومنيوم المستوي ST11168، هدف أكسيد الألومنيوم المستوي، Al2O3

هدف الاخرق المستوي لأكسيد الألومنيوم المستوي، وصف هدف أكسيد الألومنيوم المستوي Al2O3

يتألف هدف الاخرق المستوي لأكسيد الألومنيوم المستوي، هدف أكسيد الألومنيوم المستوي، Al2O3 من الألومينا عالية النقاء (Al2O3) المصممة لتطبيقات الاخرق. يضمن تصميمه المستوي التوافق مع أنظمة الترسيب القياسية من خلال الحفاظ على تباعد موحد بين الهدف والركيزة. وتقلل هذه الهندسة من تأثيرات الحواف أثناء عملية الاخرق، مما يعزز نمو الفيلم المتسق ويقلل من تلوث الجسيمات. ويدعم التحكم التركيبي الصارم للهدف سلوك الاخرق المستقر وخصائص الأغشية الرقيقة القابلة للتكرار، وهو ما يفيد عمليات أشباه الموصلات والمكونات البصرية.

هدف الاخرق المستوي لأكسيد الألومنيوم المستوي، خصائص هدف Al2O3

* تستند معلومات المنتج المذكورة أعلاه إلى بيانات نظرية وهي للإشارة فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.

هدف الاخرق المستوي من أكسيد الألومنيوم المستوي، تطبيقات هدف Al2O3

الإلكترونيات
- يُستخدم كهدف ترسيب في أنظمة الاخرق لتحقيق أغشية رقيقة موحدة لأجهزة أشباه الموصلات من خلال الاستفادة من تركيبة الألومينا عالية النقاء للهدف.
- يُستخدم كمصدر طلاء في تصنيع شاشات العرض الضوئية للتحكم في سماكة وجودة الأغشية لضمان الحد الأدنى من عيوب الجسيمات.

صناعي
- يُستخدم كهدف رشاش في تصنيع الطلاءات الواقية لأجهزة الألواح المسطحة من خلال الاستفادة من هندسته المستوية لتوزيع المواد بشكل متساوٍ.
- مدمج في إنتاج الطبقات العازلة في تطبيقات أجهزة الاستشعار لتحقيق بيئة ترسيب مستقرة وقابلة للتكرار.

هدف الاخرق المستوي لأكسيد الألومنيوم المستوي، التعبئة المستهدفة Al2O3

يتم تغليف الهدف بشكل آمن في حاويات مبطنة برغوة مضادة للكهرباء الساكنة مع توسيد غاز خامل لمنع التلف والتلوث. يتم تخزينها في درجة حرارة محيطة في منشأة نظيفة وجافة للحفاظ على سلامة السطح. تتوفر حلول تغليف مخصصة، بما في ذلك الأكياس محكمة الغلق وصناديق مقسمة حسب متطلبات المناولة وظروف الشحن المحددة.

معلومات إضافية

الرش بالرش هو تقنية ترسيب بخار فيزيائي معتمدة على نطاق واسع حيث تكون الأهداف مثل أكسيد الألومنيوم ضرورية لإنشاء أغشية رقيقة وموحدة. تسمح الهندسة المستوية للهدف بتوزيع الطاقة بفعالية أثناء عملية الرش بالرش، وهو أمر بالغ الأهمية للتطبيقات عالية الدقة في تصنيع أشباه الموصلات والأجهزة البصرية. يعد الحفاظ على درجة نقاء عالية وخصائص سطح مضبوطة أمرًا ضروريًا لتكرار العملية.

يُظهر أكسيد الألومنيوم، المعروف أيضًا باسم الألومينا، خمولًا كيميائيًا وقوة ميكانيكية ممتازة، مما يجعله مادة مفضلة لمختلف تطبيقات السيراميك. وتساعد النظرة الثاقبة لخصائصه الحرارية والعازلة المهندسين في تحسين عمليات الترسيب وضمان أن أداء الجهاز يلبي المعايير الصناعية الصارمة.

الحالة

عدسة ماكينة الطباعة الحجرية ASML

نظام طلاء مضاد للانعكاس مقاس 193 نانومتر

الركيزة: كوارتز اصطناعي | درجة حرارة الترسيب: 150°C

التحقق من الأداء:

فقدان الانعكاس من جانب واحد < 0.08%

تشوه واجهة الموجة < λ/40 @ 193 نانومتر

خطة العملية: الترسيب بمساعدة الحزمة الأيونية (IAD) لتحسين الكثافة