AL10304 AL10304 قالب نيتريد الألومنيوم المصقول من جانب واحد على قالب نيتريد الألومنيوم المصقول على الياقوت Al2O3 (0001) 4 بوصة × 0.5 مم فيلم AlN 1000 نانومتر

قالب نيتريد الألومنيوم المصقول من جانب واحد على الياقوت Al2O3 (0001) 4 بوصة × 0.5 مم فيلم AlN 1000 نانومتر الوصف

تجمع هذه الركيزة بين قالب نيتريد الألومنيوم بسُمك 1000 نانومتر مع قاعدة من الياقوت (Al2O3)، مما يوفر سطحًا مستوٍ وناعمًا للغاية لمعالجة أشباه الموصلات. تقلل التقنية المصقولة من جانب واحد من خشونة السطح وتعزز التوحيد. مع أبعاد 4 بوصات في 0.5 مم، يدعم القالب التكامل الموثوق به في تصنيع الأجهزة، مما يسهل المحاذاة الليثوغرافية الدقيقة والإدارة الحرارية الفعالة في التطبيقات عالية الطاقة.

قالب نيتريد الألومنيوم المصقول من جانب واحد على الياقوت Al2O3 (0001) 4 بوصة × 0.5 مم فيلم AlN 1000 نانومتر تطبيقات

1 -الإلكترونيات
- يُستخدم كركيزة نشطة في الأجهزة الإلكترونية العاملة بالطاقة لإدارة تبديد الحرارة من خلال الاستفادة من التوصيل الحراري العالي للياقوت.
- يُستخدم كقاعدة في مكونات الترددات الراديوية لتحسين سلامة الإشارة من خلال غشاء AlN الموحد.

2-الصناعي
- يُستخدم كطبقة وظيفية في تجميعات أجهزة الاستشعار لتحقيق حساسية محسّنة باستخدام سطح الركيزة الأملس منخفض العيوب.
- كثيراً ما يُستخدم في أدوات التصنيع الدقيقة حيث يكون ثبات الأبعاد ضرورياً من أجل الزخرفة عالية الدقة.

قالب نيتريد الألومنيوم المصقول من جانب واحد على قالب الياقوت Al2O3 (0001) 4 بوصة × 0.5 مم فيلم AlN 1000 نانومتر التعبئة

يتم تغليف الركيزة في حاوية مضادة للكهرباء الساكنة مبطنة بالرغوة مع غطاء واقي لمنع التلف الميكانيكي. يتم إغلاقها داخل عبوة عازلة للرطوبة للحفاظ على سلامة السطح وتقليل تلوث الجسيمات. يوصى بالتخزين تحت ظروف درجة حرارة الغرفة الخاضعة للتحكم. وتتوفر خيارات تغليف مخصصة، بما في ذلك إدخالات مقسمة وملصقات خاصة للتوافق مع بروتوكولات المناولة المحددة.

الأسئلة المتداولة

س1: كيف تؤثر الطبقة النهائية المصقولة من جانب واحد على تكامل الركيزة في عمليات أشباه الموصلات؟
ج1: يقلل السطح المصقول من خشونة السطح، مما يعزز دقة الطباعة الحجرية ويضمن التصاق أفضل للأغشية. ويُعد هذا التوحيد أمرًا بالغ الأهمية لتقليل العيوب أثناء خطوات المعالجة اللاحقة.

س2: ما الدور الذي تلعبه الركيزة الياقوتية في الإدارة الحرارية؟
ج2: يوفّر الياقوت (Al2O3) توصيلًا حراريًا عاليًا، مما يساعد في تبديد الحرارة أثناء تشغيل الجهاز. هذه الخاصية مفيدة بشكل خاص في الإلكترونيات عالية الطاقة حيث يكون الاستقرار الحراري أمرًا بالغ الأهمية.

س3: ما هي بروتوكولات التنظيف الموصى بها قبل تصنيع الجهاز؟
ج3: يُنصح بالتنظيف القياسي، مثل تنظيف RCA متبوعًا بشطفها بالماء منزوع الأيونات، لإزالة الملوثات دون المساس بسلامة الرقاقة. تضمن هذه العملية احتفاظ الركيزة بخصائصها أثناء التكامل.

معلومات إضافية

تُقدَّر قيمة سيراميك نيتريد الألومنيوم (AlN) في التطبيقات عالية الأداء نظرًا لخصائص التوصيل الحراري الممتازة وخصائص العزل الكهربائي. ويعزز دمج فيلم AlN على الياقوت من الأداء الميكانيكي والحراري للركيزة مما يجعلها مناسبة لتطبيقات أشباه الموصلات وأجهزة الاستشعار.

وقد أدت التطورات في تقنيات الترسيب والتلميع إلى تحسين اتساق وتوحيد أغشية الألN. وتُعد هذه التحسينات ضرورية للتطبيقات الدقيقة حيث يمكن أن يؤثر تجانس الرقائق بشكل كبير على أداء الجهاز وموثوقيته وكفاءة التكامل في عمليات التصنيع المعقدة.