950C CSS و فرن RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 الوصف
950C CSS و فرن RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 هو فرن متقدم للمعالجة الحرارية السريعة (RTP) مصمم خصيصًا للط coatings الأفلام بالتقنية القريبة من التبخر (CSS) على الرقائق التي يصل قطرها إلى 12 بوصة. يمكن لهذا الفرن الوصول إلى درجة حرارة عمل قصوى تبلغ 950°C ويتميز بمجموعتين من سخانات الهالوجين (علوي وسفلي) يمكنهما تحقيق معدل تسخين سريع يصل إلى 20°C في الثانية بشكل مستقل. يتم تدوير حامل العينة العلوي، مما يسهل الطلاء الموحد للأفلام بسرعات تتراوح من 1 إلى 10 دورات في الدقيقة.
هذا الفرن فعال بشكل خاص في تطوير الأفلام الرقيقة من الجيل التالي لخلايا الطاقة الشمسية، بما في ذلك المواد مثل كادميوم تيلورايد (CdTe) والسلفيد والبرّوسكايت. وهو مناسب أيضًا لتسخين رقائق أشباه الموصلات ذات قطر 12 بوصة.
950C CSS و فرن RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 المواصفات
|
الميزات
|
- غرفة فراغ بقطر 20 بوصة مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، تحقق مستوى فراغ يصل إلى 10^-5 تور باستخدام مضخة توربينية.
- لوحان تسخين بالأشعة تحت الحمراء (IR) بعرض 12 بوصة موضوعة بشكل استراتيجي داخل الغرفة لتحسين توزيع الحرارة.
- مراقب درجة حرارة دقيق من يورثرم يضمن دقة درجة الحرارة ضمن ±0.1°C.
- كمبيوتر بشاشة تعمل باللمس يسمح بالتحكم الشامل في جميع معلمات المعالجة.
|
|
المعلمات الأساسية
|
- درجة الحرارة القصوى للتسخين: 950℃
- أقصى فرق درجة حرارة بين السخانات: ≤ 300℃
- أعلى معدل تسخين: 8℃/ثانية
- أقصى معدل تبريد: <20℃/ثانية
|
|
الطاقة
|
208 - 240VAC، ثلاث مراحل، 50/60 هرتز
60kw
|
|
غرفة الفراغ
|
- أبعاد الغرفة: قطر داخلي 500 مم × ارتفاع 460 مم
- نافذتان من الكوارتز بقطر 60 مم مدمجتان لمراقبة الرؤية بسهولة.
- تحتوي على دفتار منزلق محكم للإغلاق لمنع مصدر التبخر تحت الفراغ العالي
- يأتي مع جهاز قياس فراغ رقمي مضاد للتآكل لضمان قياسات فراغ دقيقة.
- مضخة فراغ اختيارية: 10-5 تور بواسطة مضخة توربينية أو 10-2 تور بواسطة مضخة ميكانيكية.
|
|
السخانات وحامل العينة
|
- تقع سخانات الأشعة تحت الحمراء في الجزء العلوي والسفلي من الغرفة بفجوات قابلة للتعديل من 2 - 25 مم.
- تكون السخانات مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع غلاف ماء بارد للاحتفاظ بالعزل الحراري.
- حامل رقائق دائري بقطر 12 بوصة مدمج في السخان العلوي لتثبيت الركيزة.
- تُستخدم ألواح الجرافيت فوق السخانات الأشعة تحت الحمراء لجعل التسخين أكثر توحيدًا.
- يمكن تدوير حامل العينة العلوي بسرعة قابلة للتعديل من 1 - 10 دورات في الدقيقة.
- يتم تضمين مبرد مياه دائري بسعة 58 لتر/دقيقة لتبريد السخانات.
|
|
نظام التحكم
|
- جهازان من وحدات التحكم الرقمية في درجة الحرارة يورثرم 3000 يوفران تحكمًا مستقلًا للسخانات العليا والسفلى بدقة +/- 0.1ºC.
- جميع العمليات، مثل ملفات درجة الحرارة، وضغط الفراغ، وسرعة الدوران، ورفع الفلنجة يتم التحكم بها عبر شاشة تعمل باللمس عبر PLC.
- يمكن للكمبيوتر عرض ملفات درجة الحرارة والضغط الفراغي وبدء تشغيل 10 برامج معالجة مسبقة الإعداد.
|
|
الوزن الصافي
|
حوالي 500 كجم
|
|
الأبعاد
|
الطول 1450 × العرض 1250 × الارتفاع 2100 مم
|
|
الضمان
|
- ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة.
- تنبيه: أي أضرار ناتجة عن استخدام غازات تآكلية وحمضية ليست مشمولة في ضمان سام المحدود لمدة عام واحد.
|
|
الشهادة
|
- شهادة CE
- شهادة NRTL أو CSA متاحة بتكلفة إضافية.
|
950C CSS و فرن RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 التطبيقات
950C CSS و فرن RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 فعال بشكل خاص في تطوير الأفلام الرقيقة من الجيل التالي لخلايا الطاقة الشمسية، بما في ذلك المواد مثل كادميوم تيلورايد (CdTe) والسلفيد والبرّوسكايت. كما أنه مناسب لتسخين رقائق أشباه الموصلات ذات قطر 12 بوصة.
950C CSS و فرن RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 التعبئة
يتم التعامل مع 950C CSS و فرن RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة منتجنا في حالته الأصلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
