فرن RTP المدمج الذي يتحكم في الغلاف الجوي OTF-1200X-4-RTP بحد أقصى 1100 درجة مئوية
فرن RTP المدمج الذي يتحكم في الغلاف الجوي عند 1100 درجة مئوية هو فرن أنبوبي مدمج للمعالجة الحرارية السريعة مزود بأنبوب معالجة زجاجي بقطر داخلي 4 بوصات وأغطية تفريغ. تم تصميمه خصيصًا لتخميل رقائق أشباه الموصلات أو خلايا الشمسية بقطر يصل إلى 3 بوصات، يقدم هذا الفرن قدرات معالجة حرارية دقيقة.
يعمل بمساعدة 8 وحدات من الأضواء الهالوجينية بقدرة 1 كيلو واط، يتميز OTF-1200X-RTP-4 بمعدل تسخين أقصى يبلغ 50 درجة مئوية/ثانية. يحتوي الفرن على جهاز تحكم في درجة الحرارة دقيق يضم 50 قسمًا مع دقة تصل إلى +/-1 درجة مئوية، مما يتيح التحكم الدقيق في التسخين والزمن والبرودة خلال مراحل المعالجة المختلفة.
مواصفات فرن RTP المدمج الذي يتحكم في الغلاف الجوي OTF-1200X-4-RTP بحد أقصى 1100 درجة مئوية
|
الميزات
|
- غلاف من الصلب مزدوج الطبقات مع تبريد هوائي يحافظ على درجة حرارة سطح الفرن أقل من 60 درجة مئوية.
- عزل من الألياف الألومينا عالية النقاء لتوفير أقصى قدر من الطاقة.
- غطاء مفصول مع حماية من قفل الأمان، يتم قطع الطاقة إذا تم فتح الغطاء خلال عملية تسخين الفرن.
|
|
درجة الحرارة التشغيلية
|
1100℃ (< 10 دقائق)
1000℃, (<20 دقيقة)
800℃, (<120 دقيقة)
- درجة حرارة التشغيل المستمرة: ≤600℃
|
|
المعايير الأساسية
|
- عنصر التسخين: ترموكابل من النوع K
- معدل تدفق الماء الدائر: 0.5 م³/ساعة
- نطاق قياس التدفق القياسي: 16-160 مل/دقيقة
- مقياس تفريغ رقمي: 10-4 إلى 1000 تور
|
|
الطاقة
|
208-240 فولت تيار متردد، 12 كيلو واط، 50/60 هرتز
|
|
التحكم في درجة الحرارة
|
- يتم تضمين جهاز التحكم في درجة الحرارة FA-YD808P-AG.
- تحكم النسبي-التكاملي-التفاضلي (PID control) ووظيفة الضبط التلقائي
- 50 قسمًا مضبوطة مع خطوات تسخين وتبريد وزمن
- إنذار مدمج من درجة الحرارة الزائدة وإنذار فشل الترموكابل
- دقة التحكم في درجة الحرارة +/- 1 درجة مئوية
- منفذ التواصل الافتراضي DB9 مع الحاسوب
|
|
أنبوب زجاجي وحامل عينة
|
- حجم الأنبوب الزجاجي: 4.33" قطر خارجي x 4.05" قطر داخلي x 16.2" طول.
- يتم تضمين حامل عينة من AlN بقطر 3 بوصات لتخميل العينات حتى قطر 3 بوصات.
(يوفر الألنيوم النيتريد موصلية حرارية عالية جدًا مما يوفر أفضل تجانس لدرجة الحرارة في منطقة العينة. يمكن إزالة حامل العينة من القاعدة لاستخدام الفرن لأغراض أخرى.)
- اختياري: قاعدة جرافيت بسماكة 3 بوصات (بديل لقاعدة AlN)
- اختياري: وعاء جرافيت (87 مم قطر خارجي x 71 مم قطر داخلي x 12 مم ارتفاع مع غطاء) مصمم لحامل العينات 3 بوصات
(يمكن تعديل الوعاء أيضًا ليصبح فرن RTE أو CSS أو HPCVD مع وعاء جرافيت مطلي بـ SiC).
|
|
الأبعاد الكلية
|
- القاعدة (عند إغلاقها): 1350 طول * 330 عرض * 590 ارتفاع مم
- القاعدة (عند فتحها): 1350 طول * 520 عرض * 740 ارتفاع مم
- حجم الفرن: Φ180*190 مم
|
|
الوزن الصافي
|
70 كغ
|
|
الضمان
|
- ضمان محدود لمدة عام واحد مع دعم مدى الحياة.
- تحذير: أي أضرار ناجمة عن استخدام غازات مهنية أو حمضية ليست مشمولة في ضمان سام لمدة عام واحد.
|
|
الشهادة
|
- شهادة CE
- شهادة NRTL أو CSA متاحة بتكلفة إضافية.
|
تطبيقات فرن RTP المدمج الذي يتحكم في الغلاف الجوي OTF-1200X-4-RTP بحد أقصى 1100 درجة مئوية
- صناعة أشباه الموصلات: تستخدم في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات مثل الرقائق السيليكونية، والأنظمة الميكرو كهربائية (MEMS)، وخلايا الطاقة الشمسية. تُستخدم الأفران العمودية في عمليات تشمل الأكسدة، والانتشار، والغطس في ضغط منخفض (LPCVD)، والتخميل.
- ترسيب الأفلام الرقيقة: يُستخدم لترسيب الأفلام الرقيقة على الركائز باستخدام تقنيات مثل الترسيب الكيميائي من البخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي من البخار (PVD)، والترسيب من الطبقة الذرية (ALD). توفر الأفران العمودية بيئة محكومة للتحكم الدقيق في سمك الفيلم وتركيبته.
- إنتاج خلايا الشمس: تُستخدم في تصنيع خلايا الشمس ووحدات الطاقة الشمسية. تُستخدم الأفران العمودية في عمليات مثل الانتشار، وترسيب الطلاء المقاوم للانعكاس، والترويس لتعزيز كفاءة وأداء خلايا الشمس.
تغليف فرن RTP المدمج الذي يتحكم في الغلاف الجوي OTF-1200X-4-RTP بحد أقصى 1100 درجة مئوية
يتم التعامل مع فرن RTP المدمج الذي يتحكم في الغلاف الجوي OTF-1200X-4-RTP بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة منتجنا في حالته الأصلية.
المواصفات
|
الميزات
|
- هيكل فولاذي مزدوج الطبقات مع تبريد هوائي يحافظ على درجة حرارة سطح الفرن أقل من 60 درجة مئوية.
- عزل ألياف الألومينا النقية العالية لتحقيق أقصى توفير للطاقة.
- غطاء مقسم مع حماية قفل، يقطع الطاقة إذا تم فتح الغطاء خلال عملية تسخين الفرن.
|
|
درجة الحرارة العملية
|
1100 درجة مئوية (< 10 دقائق)
1000 درجة مئوية (<20 دقيقة)
800 درجة مئوية (<120 دقيقة)
- درجة الحرارة التشغيلية المستمرة: ≤600 درجة مئوية
|
|
المعلمات الأساسية
|
- عنصر التسخين: ترموكابل نوع K
- معدل تدفق الماء المتداول: 0.5 م³/ساعة
- نطاق قياس التدفق القياسي: 16-160 مل/دقيقة
- مقياس فراغ رقمي: 10-4 إلى 1000 تور
|
|
الطاقة
|
208-240 فولت تيار متردد، 12 كيلو وات، 50/60 هرتز
|
|
التحكم في درجة الحرارة
|
- جهاز التحكم في درجة الحرارة FA-YD808P-AG متضمن.
- التحكم النسبي التكاملي التفاضلي (PID) ووظيفة الضبط التلقائي
- 50 قطعة برمجية مع خطوات التسخين والتبريد والاستراحة
- إنذار مدمج لدرجة الحرارة الزائدة وإنذار لفشل الترموكابل
- دقة التحكم في درجة الحرارة +/- 1 درجة مئوية
- منفذ الاتصال بجهاز الكمبيوتر DB9 افتراضي
|
|
أنبوب الكوارتز وحامل العينة
|
- حجم أنبوب الكوارتز: 4.33" قطر خارجي x 4.05" قطر داخلي x 16.2" طول.
- حامل عينة بقطر 3" مصنوعة من AlN تشمل لعينات تصل إلى 3" قطر.
(لدى AlN موصلية حرارية عالية جدًا مما يوفر أفضل توحيد للحرارة في منطقة العينة. يمكن إزالة حامل العينة من الفلنج لاستخدام الفرن للأغراض الأخرى.)
- اختياري: ركيزة جرافيت سميكة بقطر 3" (بديل لصفائح AIN)
- اختياري: وعاء جرافيت (87 مم قطر خارجي x 71 مم قطر داخلي x 12 مم ارتفاع مع غطاء) مصمم لحامل عينة 3"
(يمكن أيضًا تعديل الوعاء ليكون فرن RTE أو CSS أو HPCVD مع وعاء جرافيت مغطى بـ SiC.)
|
|
الأبعاد الإجمالية
|
- الفلنج (عند الإغلاق): 1350 طول * 330 عرض * 590 ارتفاع مم
- الفلنج (عند الفتح): 1350 طول * 520 عرض * 740 ارتفاع مم
- حجم الفرن: φ180*190 مم
|
|
الوزن الصافي
|
70 كغم
|
|
الضمان
|
- ضمان محدود لمدة سنة مع دعم مدى الحياة.
- انتبه: أي أضرار ناتجة عن استخدام الغازات التآكلية والحمضية لا تغطيها ضمان SAM المحدود لمدة سنة.
|
|
الشهادة
|
- معتمد من CE
- شهادة NRTL أو CSA متاحة بتكلفة إضافية.
|
*المعلومات الواردة أعلاه عن المنتج تعتمد على بيانات نظرية وهي للرجوع إليها فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
