فرن عمودي 1100C KSL-1100X-L-VT الوصف
فرن عمودي 1100C هو فرن محكم الغلق من النوع العمودي مزود بغرفة أنبوب كوارتز بأبعاد Ø200×Ø190×H425 مم، مزود بفلنجات وصمامات من الفولاذ المقاوم للصدأ. تم تجهيز هذا الفرن بمضخة تور التي تمكنه من تحقيق مستوى فراغ قدره 10^-5 تور. مصمم لعملية التكليس أو المعالجة الحرارية لألواح أشباه الموصلات (حتى 8 بوصات في القطر)، يعمل تحت فراغ أو أجواء غازية متنوعة، ويصل إلى درجات حرارة تصل إلى 1100°C.
مواصفات فرن عمودي 1100C KSL-1100X-L-VT
|
المميزات
|
- عزل من ألياف الألومينا عالية النقاء يحيط بالغرفة
- تسخين ثلاثي الجوانب للفرن، مع معدل تسخين سريع وحقول درجة حرارة موحدة.
|
|
المعلمات الأساسية
|
- أقصى درجة حرارة تسخين: 1100℃ (< 1 ساعة)
- درجة الحرارة المستمرة للتسخين: 1000°C
- معدل التسخين الموصى به: 10°C /دقيقة
- عنصر التسخين: سلك مقاومة نيكل-كروم-ألومنيوم
- الثيرموكouple: نوع K
|
|
الطاقة
|
220 فولت تيار متردد، 7.5 كيلو واط، 50 هرتز
|
|
تحكم درجة الحرارة
|
- يتم تضمين وحدة تحكم درجة حرارة رقمية معتمدة من NRTL
- تحكم تناسبي-تفاضلي-تكاملي (تحكم PID) ووظيفة الضبط التلقائي
- 50 شريحة مبرمجة مع خطوات تسريع وتبريد وفترة
- إنذار مدمج لدرجة الحرارة الزائدة وإنذار فشل الثيرموكouple
- دقة التحكم في درجة الحرارة +/- 1 ºC
- منفذ الاتصال DB9 لجهاز الكمبيوتر متضمن للاتصال بالكمبيوتر
- متحكم درجة حرارة Eurotherm متاح بتكلفة إضافية مع دقة +/-0.1°C
|
|
الأبعاد الكلية
|
980 مم طول * 730 مم عرض * 880 مم ارتفاع
|
|
الوزن الصافي
|
125 كجم
|
|
الضمان
|
- ضمان محدود لمدة عام مع دعم مدى الحياة.
- تنبيه: أي أضرار ناتجة عن استخدام غازات مدمرة وحامضية ليست ضمن تغطية ضمان سام المحدود لمدة عام.
|
|
الشهادة
|
- معتمد CE
- شهادة NRTL أو CSA متاحة بتكلفة إضافية.
|
تطبيقات فرن عمودي 1100C KSL-1100X-L-VT
- تصنيع أشباه الموصلات: يُستخدم في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات مثل ألواح السيليكون، وأنظمة الميكرو إليكتروميكانيكية (MEMS)، والخلايا الكهروضوئية. يتم استخدام الأفران العمودية في عمليات مثل الأكسدة، والانتشار، وLPCVD (الإيداع الكيميائي بالبخار تحت الضغط المنخفض)، والمعالجة الحرارية.
- الإيداع الرقيق: يُستخدم لإيداع الأفلام الرقيقة على الركائز باستخدام تقنيات مثل CVD (الإيداع الكيميائي بالبخار)، وPVD (الإيداع الفيزيائي بالبخار)، وALD (الإيداع الطبقي الذري). توفر الأفران العمودية بيئة محكومة للتحكم الدقيق في سمك ومكونات الفيلم.
- إنتاج الخلايا الشمسية: تُستخدم في تصنيع خلايا الطاقة الشمسية والوحدات الكهروضوئية. يتم استخدام الأفران العمودية في عمليات مثل الانتشار، وإيداع الطلاء المضاد للانعكاس، والتعدين لتحسين كفاءة وأداء خلايا الطاقة الشمسية.
تغليف فرن عمودي 1100C KSL-1100X-L-VT
يتم التعامل مع فرن عمودي 1100C KSL-1100X-L-VT بعناية أثناء التخزين والنقل للحفاظ على جودة منتجنا في حالته الأصلية.
المواصفات
|
الميزات
|
- عزل ألياف الألومينا عالية النقاء يحيط بالغرفة
- ثلاثة جوانب من الفرن مسخنة، مع معدل تسخين سريع وحقول درجة حرارة متجانسة.
|
|
المعايير الأساسية
|
- أقصى درجة حرارة للتسخين: 1100℃ (< 1 ساعة)
- درجة حرارة التسخين المستمرة: 1000 درجة مئوية
- معدل التسخين الموصى به: 10 درجة مئوية /دقيقة
- عنصر التسخين: سلك مقاومة Ni-Cr-Al
- مزدوج حراري: النوع K
|
|
الطاقة
|
220 فولت تيار متردد، 7.5 كيلو واط، 50 هرتز
|
|
تحكم في درجة الحرارة
|
- وحدة تحكم رقمية معتمدة من NRTL مضمنة
- تحكم متناسب - تكامل - مشتق (تحكم PID) ووظيفة الضبط التلقائي
- 50 قطاع مبرمج مع خطوات التسخين، التبريد، والسكون
- إنذار مدمج لدرجة الحرارة الزائدة وإنذار لفشل المزدوج الحراري
- دقة التحكم في درجة الحرارة +/- 1 درجة مئوية
- منفذ الاتصال DB9 الافتراضي متضمن للاتصال بالحاسوب
- وحدة تحكم Eurotherm متاحة بتكلفة إضافية مع دقة +/-0.1 درجة مئوية
|
|
الأبعاد الإجمالية
|
980 مم الطول * 730 مم العرض * 880 مم الارتفاع
|
|
الوزن الصافي
|
125 كجم
|
|
الضمان
|
- ضمان محدود لمدة عام واحد مع دعم مدى الحياة.
- يرجى ملاحظة: أي أضرار ناتجة عن استخدام الغازات التفاعلية والحمضية غير مشمولة في ضمان SAM المحدود لمدة عام واحد.
|
|
الشهادة
|
- معتمدة من CE
- شهادة NRTL أو CSA متاحة بتكلفة إضافية.
|
*المعلومات الواردة أعلاه عن المنتج تعتمد على بيانات نظرية وهي للرجوع إليها فقط. قد تختلف المواصفات الفعلية.
تقييمات العملاء
لا توجد تقييمات للمنتجات الحالية.
