صواني الجرافيت المغلفة بكربيد السيليكون الوصف
يتم إنشاءصواني الجرافيت المغلفة بكربيد السيليكون عن طريق طلاء سطح الجرافيت متساوي الخواص عالي النقاء بطبقة دقيقة من كربيد السيليكون من خلال عملية ترسيب البخار الكيميائي ( CVD). تُستخدم صواني الجرافيت المغلفة بالسيليكون على نطاق واسع في أشباه الموصلات والطلاء.
توفر عملية الترسيب الكيميائي للبخار CVD درجة نقاء عالية للغاية وكثافة نظرية لطلاء SiC بدون مسامية. والأكثر من ذلك، بما أن كربيد السيليكون شديد الصلابة، فيمكن صقله إلى سطح يشبه المرآة. يوفر طلاء كربيد السيليكون CVD (SiC) العديد من المزايا بما في ذلك سطح فائق النقاء ومتانة التآكل للغاية. وبما أن المنتجات المطلية تتمتع بأداء رائع في ظروف التفريغ العالي ودرجات الحرارة العالية، فهي مثالية للتطبيقات في صناعة أشباه الموصلات وغيرها من البيئات فائقة النظافة.
كما توفر Stanford Advanced Materials أيضًا صواني الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون.
مواصفات صواني الجرافيت المغلفة بكربيد السيليكون كربيد السيليكون
صيغة المركب
|
سيليكون كربيد السيليكون
|
الوزن الجزيئي
|
40.1
|
المظهر
|
أسود
|
نقطة الانصهار
|
2,730 درجة مئوية (4,946 ℉) (يتحلل)
|
الكثافة
|
3.0 إلى 3.2 جم/سم3
|
المقاومة الكهربائية
|
1 إلى 4 10 أضعاف Ω-م
|
نسبة بواسون
|
0.15 إلى 0.21
|
الحرارة النوعية
|
670 إلى 1180 جول/كجم-ك
|
سمك الطلاء
|
50 ~ 500 ميكرومتر
|
صواني الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون مزايا
- طبقة كربيد السيليكون صلبة للغاية ومستقرة في درجات الحرارة العالية. لديها مقاومة ممتازة للأكسدة والتآكل والمقاومة الكيميائية.
- يمنع الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون انفصال وتشتت جزيئات الجرافيت، وكذلك انبعاث الغازات والشوائب في مصفوفة الجرافيت.
تطبيقات صواني الجرافيت المغطاة بكربيد السيليكون المغلفة بالجرافيت
- تم تطبيق طلاء كربيد السيليكون CVD في صناعات أشباه الموصلات بالفعل، مثل صواني MOCVD، وRTP، وغرف حفر الأكسيد لأن نيتريد السيليكون يتمتع بمقاومة كبيرة للصدمات الحرارية ويمكنه تحمل البلازما عالية الطاقة.
- يستخدم كربيد السيليكون على نطاق واسع في أشباه الموصلات والطلاء.
تغليف صواني الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون
يتم التعامل مع صواني الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون بعناية لتقليل التلف أثناء التخزين والنقل وللحفاظ على جودة منتجاتنا في حالتها الأصلية.
الأسئلة الشائعة حول صواني الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون
س1: ما هي الميزات الرئيسية لصواني الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون؟
ج 1: صواني الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون (SiC) تجمع بين المقاومة الممتازة لدرجات الحرارة العالية للجرافيت مع المقاومة المحسنة للتآكل والحماية من الأكسدة التي يوفرها طلاء سيليكون كربيد السيليكون. وهي تستخدم على نطاق واسع في الأفران ذات درجات الحرارة العالية وصناعات المعادن والسيراميك، حيث توفر ثباتًا كيميائيًا ممتازًا ومقاومة ممتازة للتآكل.
س2: ما هي درجة حرارة التشغيل القصوى لهذه الصواني؟
ج2: يمكن أن تتحمل صواني الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون عادةً درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية، اعتمادًا على حجم الصينية وسُمك الطلاء.
س3: كيف يعمل طلاء كربيد السيليكون على تحسين أداء الصواني؟
ج3: يحمي طلاء SiC صينية الجرافيت من الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مما يعزز بشكل كبير من مقاومتها للتآكل الكيميائي. وتمنع هذه الطبقة الواقية تدهور السطح في البيئات القاسية، مما يطيل من عمر الصينية.